Nikon分步投影光刻机NSR-S204B，用于集成电路生产过程中的微光刻工艺，通过投影成像方式，把掩模版上集成电路图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复曝光在涂有胶层的硅片表面。

Nikon分步投影光刻机NSR-S204B含有硅片自动传输系统、版库自动管理系统、可编程掩模光栏、自动调焦调平、硅片自动对准、掩模板自动对准、镜头倍率及焦点自动控制、曝光能量的自动补整、腔体温度环境控制、故障显示报警等*功能。

NSR-S204B型分步投影光刻机基本工作过程：把曝光掩模和硅片分别装入掩模库和硅片承载台以后；通过操作设备的控制系统，使设备按照所需设定的制作程序自动完成掩模、硅片的传递交换，并根据生产工艺需要进行自动对准、自动调焦调平、自动扫描曝光等工作过程。

运输与保管

Nikon分步投影光刻机NSR-S204各部分重量：主机重量（净重）7200Kg，温调柜重量860Kg，传送腔体重量850Kg，空调机重量650Kg，控制柜重量300Kg，BMU重量180Kg，变压器重量160Kg

运输Nikon分步投影光刻机NSR-S204方式：采用半导体专用设备减震车运输。

Nikon分步投影光刻机NSR-S204对环境要求：温度控制在19～24℃之间，湿度小于70%。

用户在收到Nikon分步投影光刻机NSR-S204及其附件后，应即刻运送存放在满足温度、湿度要求的厂房内，切勿露天或在温湿度不受控的环境存放。

在运输Nikon分步投影光刻机NSR-S204过程中，应避免冲击和震动，轻搬轻放。严格要求具有防振、减震措施，搬运过程中振动不大于1G。