SAMCO等离子刻蚀机RIE-300NR是一种理想的反应离子蚀刻系统，适用于加工ø300mm晶圆和多晶圆（ø3"×12，ø4"×8等），具有优异的均匀性。该系统的设计旨在限度地减少工厂空间需求，提高产量，限度地延长正常运行时间，并通过可靠的硬件和便捷的服务降低拥有成本。

主要特点和优点

加工范围：ø350 mm (ø3" x 12, ø4" x 8, ø12" x 1)

用户友好的触摸屏界面

全自动 "一键式 "操作，可手动操作。

优化的喷淋头可提供工艺气体的均匀性。

减少停留时间的近距离耦合气体输送箱。

对称的疏散设计与TMP相结合，形成了有效的流动。

自动压力控制，可精确控制工艺压力，不受气体流量影响。

干式泵和系统布局便于维护。

应用

去除夹层膜，用于ø300mm的失效分析。

蚀刻Si、SiO2、SiN和聚硅氧烷。

树脂的蚀刻和脱胶

光阻剂的灰化、剥离和除尘。

表面改性（润湿性和粘附性的改善