PVA TEPLA / TECHNICS 300 AUTOLOAD PC刻蚀机二手现货

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2023-10-02 19:50:32
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产品简介

PVATEPLA/TECHNICS300AUTOLOADPC刻蚀机

详细介绍

PVA TEPLA / TECHNICS 300 AUTOLOAD PC刻蚀机,2007年设备,可对6-8英寸的晶圆进行蚀刻工艺加工处理

制造商:PVA TEPLA / TECHNICS

型号:300 AUTOLOAD PC

类别:ETCHERS / ASHERS

年份:2007

晶圓尺寸:6"-8"

设备详细信息:

微波等离子批处理系统,6"-8"

当前配置用于 6"

PC 控制器

批量大小:(25) 每个负载的晶圆

陶瓷腔室(φ x 深度):9.6" x 15"

微波频率:2.45 GHz

功率:1000 W

( 4) 气体通道

MFC 校准 N2

1000 SCCM

MKS Baratron 电容压力计

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