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面议PVA TEPLA / TECHNICS 300 AUTOLOAD PC刻蚀机,2007年设备,可对6-8英寸的晶圆进行蚀刻工艺加工处理
制造商:PVA TEPLA / TECHNICS
型号:300 AUTOLOAD PC
类别:ETCHERS / ASHERS
年份:2007
晶圓尺寸:6"-8"
设备详细信息:
微波等离子批处理系统,6"-8"
当前配置用于 6"
PC 控制器
批量大小:(25) 每个负载的晶圆
陶瓷腔室(φ x 深度):9.6" x 15"
微波频率:2.45 GHz
功率:1000 W
( 4) 气体通道
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