Suss MicroTec ACS200 是一种自动光刻胶涂层和烘烤站，具有盒到盒基底操作。它支持在各种基材上旋涂和喷涂光刻胶。该工具提供完整的抗蚀剂涂层功能，包括高达 250 °C 的热板烘烤和背面冲洗自动去除边缘珠。

规格/能力

Gyrset 旋涂和 Alta 喷涂模块。

250 °C 可编程加热板。

自动去除边缘珠和背面冲洗。

使用信息

支持的样本量

晶圆直径：200 毫米（8 英寸）。

支持的小件：是的。

基材厚度：5 毫米。

支持的晶圆直径：

50 毫米（2 英寸）。

75 毫米（3 英寸）。

100 毫米（4 英寸）。

150 毫米（6 英寸）。

200 毫米（8 英寸）。

支持的光掩模尺寸：

125 毫米 x 125 毫米。

150 毫米 x 150 毫米。

典型应用

用于光学图案曝光的光刻胶涂层。

用于掩模生产的光刻胶涂层。