电子十万级无尘车间建设要求

所谓半导体电子洁净车间，指的是洁净度在10万级标准以上的车间，主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。根据洁净度不同分为100级（小于3.5个），1000级（小于35个），10000级（小于350个），100000级（小于3500个）。

洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间（特殊洁净车间有相关温湿度规定）。这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分，由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。

电子制造厂万级洁净室内的噪声级（空态）：不应大于65dB(A)

电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。

电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa

电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的值：补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。电子制造行业洁净室净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量，应取下面三项值：

保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量；

根据热，湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量；

向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量；

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