敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺LIC 4117，LIC 4197

式直线光栅尺，测量长度达6 m

• 测量步距达1 nm

• 将钢尺带穿入铝壳中并在中间位置固定

• 直线光栅尺和读数头配套使用

超高精度

HEIDENHAIN直线光栅尺的突出特点是极小 测量步距、高精度和高重复精度。扫描方 式为干涉扫描，测量基准为OPTODUR相 位光栅。

高精度

LIF敞开式直线光栅尺采用干涉扫描原 理，测量基准为SUPRADUR光栅。其特点 是高精度和高重复精度，特别易于安装， 并带限位开关和回零轨。特殊型号的LIF 481 V可用于真空度达10–7毫巴的高真空度 应用（参见其单独的“产品信息”资料）。

高运动速度

敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺设计用于高速运 动，至高速度达10 m/s。多种安装方式使 其特别易于灵活地部署。多种版本可供选 择，例如钢尺带、玻璃或玻璃陶瓷基体的 METALLUR光栅。也可带限位开关。

二维光栅尺

PP二维光栅尺的测量基准为干涉扫描的、 由DIADUR工艺制造的平面二维光栅。因 此可测量平面中的位置。

用在真空环境中的光栅尺 海德汉的标准光栅尺适用于一般或中等真 空应用。如果用于高真空和超高真空环境 中，光栅尺必须满足特殊要求。在选择光 栅尺的结构设计和材质中，必须特别满足 这些条件的要求。更多信息，请参见真空 应用的直线光栅尺“技术信息”资料。

以下敞开式直线光栅尺于高真空度或 超高真空度的应用： • 高真空度：LIP 481V和LIF 481V • 超高真空度：LIP 481U 更多信息，请参见相应的“产品信息” 资料