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敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺
测量精度
直线测量精度主要取决于
• 光栅质量,
• 光栅基体质量,
• 扫描质量,
• 信号处理电子电路质量和
• 光栅尺在机床内的安装情况。
可将这些因素细分为特定编码器的位置误 差和应用相关的因素。为评估可获得的系 统精度,必须综合考虑各项因素中每一 项。
特定光栅尺位置误差
特定光栅尺位置误差包括
• 测量基准的精度,
• 细分精度,和
• 位置信号噪音。 测量基准的精度 测量基准的精度主要取决于
• 光栅的均匀性和栅距定义,
• 光栅与其基体找正情况,和
• 光栅基体的稳定性。
测量基准的精度由未补偿的基线误差大 值表示。在理想条件下,用批量生产的读 数头测量位置误差,用于确定该精度。测 量点之间的距离等于信号周期的整数倍。 因此,细分误差无影响。
精度等级a决定长度不超过一米的长度范 围内基线误差上限。对于特殊光栅尺,还 提供已定义的测量基准间距的基线误差。
细分精度
细分精度主要受以下因素影响
• 信号周期大小,
• 光栅的均匀性和栅距定义,
• 扫描掩膜质量,
• 传感器特性,及
• 信号处理质量。
细分精度由大批量生产的测量基准确定, 并用细分误差的大典型值u表示。带模 拟接口的光栅尺用海德汉电子设备(例如 EIB 741)测试。该大值不含位置信号噪 音,并将其标注在技术参数中。
细分误差在非
敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺
LIDA 479,LIDA 489
增量式直线光栅尺,测量范围可达6 m
• 测量步距达10 nm
• 自带限位开关
• 钢尺带粘结在安装面上
• 尺带和读数头配套使用