敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺

测量精度

直线测量精度主要取决于

• 光栅质量，

• 光栅基体质量，

• 扫描质量，

• 信号处理电子电路质量和

• 光栅尺在机床内的安装情况。

可将这些因素细分为特定编码器的位置误 差和应用相关的因素。为评估可获得的系 统精度，必须综合考虑各项因素中每一 项。

特定光栅尺位置误差

特定光栅尺位置误差包括

• 测量基准的精度，

• 细分精度，和

• 位置信号噪音。 测量基准的精度 测量基准的精度主要取决于

• 光栅的均匀性和栅距定义，

• 光栅与其基体找正情况，和

• 光栅基体的稳定性。

测量基准的精度由未补偿的基线误差大 值表示。在理想条件下，用批量生产的读 数头测量位置误差，用于确定该精度。测 量点之间的距离等于信号周期的整数倍。 因此，细分误差无影响。

精度等级a决定长度不超过一米的长度范 围内基线误差上限。对于特殊光栅尺，还 提供已定义的测量基准间距的基线误差。

细分精度

细分精度主要受以下因素影响

• 信号周期大小，

• 光栅的均匀性和栅距定义，

• 扫描掩膜质量，

• 传感器特性，及

• 信号处理质量。

细分精度由大批量生产的测量基准确定， 并用细分误差的大典型值u表示。带模 拟接口的光栅尺用海德汉电子设备（例如 EIB 741）测试。该大值不含位置信号噪 音，并将其标注在技术参数中。

细分误差在非

敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺

LIDA 479，LIDA 489

增量式直线光栅尺，测量范围可达6 m

• 测量步距达10 nm

• 自带限位开关

• 钢尺带粘结在安装面上

• 尺带和读数头配套使用