敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺

坚固耐磨的测量基准

敞开式直线光栅尺由于其结构特点，测量 基准的抗污染能力较低。为此，海德汉公 司全部采用*工艺生产非常坚固耐磨的 光栅。

OPTODUR和SUPRADUR工艺中，为主反 光层上增加透光层。为形成光学三维相位 光栅，高硬度的镀铬层的厚度极薄，仅数 纳米。成像扫描原理的光栅结构与 METALLUR工艺的光栅类似。在反光的金 层上覆盖薄薄一层玻璃。其上为铬线，作 为吸收器。由于厚度仅数纳米，这些铬线 是半透明线。实践证明OPTODUR、 SUPRADUR或METALLUR光栅测量基准的 抗污能力非常强，由于其刻线很薄，灰 尘、污物或水滴难以留在其表面上，因此 抗污染能力非常出众。

实用的安装公差

信号周期越小一般也要求读数头与钢带光 栅尺间的安装公差越小。这是光栅的衍射 作用造成的。如果间隙仅变化±0.1 mm， 衍射将导致信号衰减50%。但由于光栅尺 采用干涉扫描原理和在成像扫描原理的光 栅尺上采用创新的扫描掩膜技术，尽管信 号周期很小，也允许实用的安装公差。

海德汉公司的敞开式直线光栅尺的安装误 差只对输出信号有轻微影响。特别是光栅 尺与读数头间定义的间隙误差（扫描间 隙）对信号幅值的影响十分轻微。工作期 间，HSP 1.0进一步提高信号的可靠性和 稳定性。通过这两幅图可看出LIDA 400和 LIF 400系列光栅尺扫描间隙与信号幅值间 关系。

 敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺

LIDA 477，LIDA 487

增量式直线光栅尺，测量范围可达6 m

• 测量步距达10 nm

• 自带限位开关

• 易于安装，配铝制底座

• 直线光栅尺和读数头配套使用