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智能型多功能椭偏仪仪器介绍
多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,精确表征和分析的工具。
智能型多功能椭偏仪技术参数
· 光谱范围:450-1000nm
· 多种微光斑自动选择
· 光斑可视技术,可观测任何样品表面
· CCD探测器
· 自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向
· 自动调节; Z轴高度>35mm
主要特点
· 一键式操作,直接报告输出
· 液晶调制技术,测量光路中无运动部件
· CCD 探测系统,快速全谱输出
· 多个微光斑尺寸选择,可视技术
· 多角度测量
· 可实现在线测量配置