研究级经典型椭偏仪仪器简介
    20多年技术积累和发展的结晶,是一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型。即使在透明的基底上也能对超薄膜进行zui精确的测量。采用PEM相位调制技术，与机械旋转部件技术相比,能提供更好的稳定性和信噪比。

研究级经典型椭偏仪技术参数
可选光谱范围：
       * UVISEL Extended Range(190nm -2100 nm)
       * UVISEL NIR (250 nm -2100 nm )
       * UVISEL VIS (210 nm -880 nm )
       * UVISEL FUV(190 nm -880 nm )
       * UVISEL VUV(142 nm -880 nm )
       * 多种实用微光斑尺寸选项
       * 探测器：分别针对紫外，可见和近红外提供优化的PMT和IGA探测器
       * 自动样品台尺寸：多种样品台可选
       * 自动量角器：变角范围35° - 90°，全自动调整，zui小步长0.01°

主要特点
       * 50KHz 高频PEM 相调制技术，测量光路中无运动部件
       * 具备超薄膜所需的测量精度，超厚膜所需的高光谱分辨率
       * 具有毫秒级超快动态采集模式，可用于在线实时监测
       * 自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等多种附件
       * 配置灵活