在线椭偏仪

In-situ series在线椭偏仪

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具体成交价以合同协议为准
2021-12-19 09:34:01
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HORIBA科学仪器事业部

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产品简介

在线椭偏仪仪器介绍：在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。技术参数：·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化

详细介绍

在线椭偏仪仪器介绍
在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。
 
在线椭偏仪技术参数
·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化
 
主要特点
将激发和探测头引入生产设备，可实现:
· 动态模式:实时监测膜厚变化
· 光谱模式：监测薄膜的界面和组分

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