气路流量控制系统设备用途

气路流量控制系统设备用途

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2022-04-03 22:00:02
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西安欧润凯机电科技有限公司

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产品简介

气路流量控制系统设备用途广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业气路流量控制系统设备型号

详细介绍

气路流量控制系统设备用途

•流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
•将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
•分流器决定主通道的流量。
•与之配套的流量显示仪上设置有稳定电源,3位半数字电压表,设定电位器,外设、内设转换和三位阀控开关等。
•控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比,满量程(F.S)流量检测输出电+5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是(2~100)%F.S(程比为50:1)

气路流量控制系统设备用途

企业目标 

专业、诚信、优秀的产品供应商 
客户信赖的、专业的品牌供应商 
经营理念 
专业、诚信、优质的服务 
服务宗旨 
以合理的价格、完善的服务,提供可靠的产品 
客户*,引进国内全面技术产品,为客户带来更为全面的现场解决方案
产品范围

1、不锈钢卡套管阀配件(球阀、针阀、单向阀、过滤器、安全阀、计量阀、阻火器、仪表阀、阀组等)接头包括卡套接头、卡套转螺纹接头、卡套转焊接接头等产品

  1. 不锈钢超洁净VCR管阀配件(隔膜阀、减压阀、单向阀、VCR接头、钢瓶接头等)
  2. 不锈钢管(AP/BA/EP),其中包括不锈钢直管、盘管、波纹管、金属软管、蛇皮管、防爆软管、包塑金属软管等产品
  3. PFA/PDVF/PTFE酸碱耐高温流体管阀配件(包括隔膜阀、球阀、减压阀、流量计、接头、PFA软管、PFA波纹管)
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