Brooks质量流量计-西安欧润凯机电科技有限公司手机版

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产品简介

Brooks质量流量计的特点是高精度、高零点稳定性以及高重复性，而上述特性正是行业对质量流量测量和控制技术的需求所在，产品设计采用*的可配置多气体/多量程功能，非常适用于各 OEM：尺寸小巧，可轻松集成至紧凑的设备空间内并有助于加快安装

详细介绍

流量响应时间（完成时间）<0.75 s
创新型 MEMS 传感器和*的 PID 算法
尺寸小巧，不足常规热式MFC的一半：1'' x 3''x 4'' (25 mm x 76 mm x 101 mm)
本地操作界面 (LOI) 选项可简化设置和操作；免费提供 LabVIEW VI 下载以进行设备监测和调零
通过 RS-232 实现数字化功能

优势

非常适用于各种常见的无腐蚀性气体
响应速度快，可在切换工艺配方时确保各步骤的迅速完成
非常适用于各 OEM：尺寸小巧，可轻松集成至紧凑的设备空间内并有助于加快安装
可选本地操作界面 (LOI) 是本地指示、设定值控制和设备配置的一站式解决方案；无需借助远程二次仪表
拥有多种通信方式，可轻松满足用户需求

应用

热处理、切割/焊接等其他热式工艺
太阳能/薄膜物理气相沉积 (PVD) 系统
用于测量和控制反应物、校准和样品气体流量的分析设备

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