柜式小型等离子清洗机

柜式小型等离子清洗机

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2023-09-24 14:42:00
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深圳市东信高科自动化设备有限公司

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产品简介

柜式小型等离子清洗机广适性:不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理;

详细介绍

名称

柜式小型等离子清洗机

型号

TS-Plasma Series

外形尺寸(W×H×D)

480×1450×660mm

反应腔尺寸

标准型和非标准型可选

反应腔体材料

进口304不锈钢真空腔

真空泵

德国进口品牌

角阀

进口气动真空角阀

射频电源

频率40KHZ,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配(可选配13.56射频)

柜式小型等离子清洗机产品特点

TS-PL系列柜式一体等离子清洗机,采用集成模块结构,PLC人机自动控制,简单易用,用于实验室及小批量工业生产中材料表面清洗、刻蚀、活化等工艺。

1.环保技术:等离子体作用过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。

2.广适性:不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理;

3.温度低:接近常温,特别适于高分子材料,比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。

4.功能强:仅涉及高分子材料浅表面(10 -1000A ),可在保持材料自身特性的同时,赋予其一种或多种新的功能;

5.低成本:装置简单,易操作维修,可连续运行,往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。

6.全过程可控工艺:所有参数可由PLC设置和数据记录,进行质量控制。

7.处理物几何形状无限制:大或小,简单或复杂,部件或纺织品,均可处理。

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