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名称 | 柜式小型等离子清洗机 |
型号 | TS-Plasma Series |
外形尺寸(W×H×D) | 480×1450×660mm |
反应腔尺寸 | 标准型和非标准型可选 |
反应腔体材料 | 进口304不锈钢真空腔 |
真空泵 | 德国进口品牌 |
角阀 | 进口气动真空角阀 |
射频电源 | 频率40KHZ,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配(可选配13.56射频) |
TS-PL系列柜式一体等离子清洗机,采用集成模块结构,PLC人机自动控制,简单易用,用于实验室及小批量工业生产中材料表面清洗、刻蚀、活化等工艺。
1.环保技术:等离子体作用过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。
2.广适性:不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理;
3.温度低:接近常温,特别适于高分子材料,比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。
4.功能强:仅涉及高分子材料浅表面(10 -1000A ),可在保持材料自身特性的同时,赋予其一种或多种新的功能;
5.低成本:装置简单,易操作维修,可连续运行,往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。
6.全过程可控工艺:所有参数可由PLC设置和数据记录,进行质量控制。
7.处理物几何形状无限制:大或小,简单或复杂,部件或纺织品,均可处理。