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| 整机尺寸(W*D*H) | 1700×1300×1800mm |
| 腔体尺寸(W*D*H) | 1025*850*948mm |
| 腔体材料 | 进口316不锈钢 |
| 等离子发生器 | 10KW 40kHZ Camdel 美国 |
| 抽风系统 | ≥2立方/分钟，尾气处理管道即可 |
| 电极板数量 | 15层水平分布 |
| 处理层数 | 15层 |
| 单层处理面积 | 1030（W）*750（D）mm （可定制） |
| 单次处理时间 | 3-30分钟不等（根据产品特征，时间设定不同） |
| 工作真空度 | 10～60Pa （可根据要求设定，可恒定真空度） |
| 泵可抽极限压力 | ≤1Pa |
| 抽真空时间 | 90s以内 |
| 破真空时间 | ≤15s |
| 工艺气体 | CF4 ;O2;N2;Ar;H2 |
| 供气方式 | 高压瓶装气体14MPa，减压至0.1-0.3MPa |
| 流量计调节范围 | 0-2000ml/min/全自动调节 |
| 温度控制调节范围 | 3匹速冷，30-85℃可调 |
| 真空泵系统 | 1级机械旋片真空泵+2级罗茨泵 |
| 真空测定系统 | 日本爱发科皮拉尼高精密电阻式真空计 |
| 真空供气系统 | Ф6全不锈钢管+不锈钢锁套管路 |
| 真空排气系统 | 全不锈钢管路+波纹管+2级过滤装置 |
| 破真空系统 | 真空角阀 |
| PLC自动控制 | 三菱 |
| 人机工控系统 | MCGS |
| 变频控制系统 | 中国台湾台达，PID闭环控制，真空度可维持 |
| 机台温控系统 | 冰水模温一体机，采用内部独立中通冰水循环冷却系统 |
| 输入气压监测系统 | 2路 日本SMC自动报警气压表 |
| 气体计量系统 | SevenStar MFC气体质量流量计精确控制流量 |
| 冰水机（标配） | / |
| 真空机组（标配） | 300m³/H |
| 系统重量 | 500KG |
| 电源 | AC380V，50/60Hz，三相五线100A 15KW |
| 压缩空气要求 | 0.6～0.8MPa |
| 循环冷却水用量 | / |
| 系统环境温湿度要求 | 温度：5℃~+25℃ 相对湿度：<80%（25℃） |
| 环境压力 | 1.013×105pa |
产品特点
处理效果稳定。等离子清洗的处理效果非常均匀稳定，常规样品处理后较长时间内保持效果良好。
可以搭配自动化流水线，提高生产效率根据用户现场需求，配置的流水线生产方案，大大提高生产效率。
处理全程无污染。等离子清洗机本身是很环保的设备，不产生任何污染，处理过程也不产生任何污染。可以与原有生产流水线搭配，实现全自动在线生产，节约人力成本。
应用领域
