主动隔振系统Stage-Base 450

概述

TMC继续在*技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。主动隔振系统Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主动消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能，它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定，以大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM，可以缩短稳定时间，进一步提高吞吐量，从而为移动平台应用提供**的主动振动和运动消除系统。

Stage-Base 450优势

Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种*的高级低频消振串行型技术，通过使用音圈电机（VCM），实现了主动移动平台运动消除。

Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术，使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了*越的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内*佳地面隔振，响应于平台力的初始偏转明显更小。

规格

●采用*的STACIS®技术

●采用高力、加长行程的压电致动器

●有效载荷的位置可重复性在微米以内

●框架安装设计

●6个主动自由度

●可选的VCM前馈和/或反馈

●始于0.6 Hz的主动隔振

●响应平台运动的快速稳定时间

●无软空气悬架

●通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面（GUI）的高速数字控制器

●简单、坚固且经济高效

性能

应用照片