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概述
Electro-Damp®是*一款专门用于提高半导体制造应用中的吞吐量、分辨率和产量的商用主动隔振系统。Electro-Damp II是对原始系统的*重新设计，增加了模块化、数字控制、前馈、高力/高间隙执行器以及多个专门设计用于OEM应用（如显微光刻、检测和计量工具）的数字用户界面。
半导体制造工具对其隔振系统提出了相互矛盾的要求。为了应对地面噪音，系统必须足够柔软，以有效地过滤地面振动，阻止其到达隔振表面。同时，系统必须足够坚硬，以应对工作台的力，以便工作台运动使隔振表面产生小位移并能快速稳定。
除了采用惯性、主动反馈阻尼之外，Electro-Damp II还使用信息前馈来进一步改善系统响应。前馈从工作台控制器获取关于工作台位置和加速度的信息，然后处理这些数据，以向有效载荷提供力驱动，从而大大减少了由工作台引起的有效载荷运动。系统可以以数字方式读取前馈信息，作为双极性模拟信号，或通过读取正交编码器的输出。DC-2000数字控制器还可以使用工作台测试模式自动调整前馈所需的参数。这使得在初始安装时或在更改有效载荷之后能够快速简便地进行设置。
Electro-Damp II的模块化设计允许系统单独与电子伺服阀一起使用（适用于重型、低加速度应用，如CMM）、只与电磁驱动一起使用（适用于使用高加速度的较轻工作台）或与两者结合使用（适用于*苛刻的应用）。
特点
●六自由度主动减振系统
●非接触式电子高度控制
●数字控制器
●前馈输入校正由工作台引起的有效载荷运动
●高力电磁执行器可单独提供或被集成在系统中
●减少有效载荷运动和由工作台引起的运动的稳定时间
●提高吞吐量、分辨率和产量
●模块化设计允许用户一个完整的单元或组件，以便OEM集成
●自动调整前馈参数以减少设置
规格
通用 | |
稳定时间 | 0.2秒** |
主动自由度 | 6 |
高度控制精度 | < 10 µm at sensorsd> |
线性执行器（水平和垂直） | |
直流电阻 | 5 Ω |
力常数 | 高达12磅/安 | 55牛/安 |
大连续力 | 25磅| 110牛 |
峰值力@ 7 A | 87磅| 385牛 |
电气时间常数 | 2.6毫秒 |
行程 | 0.25英寸 | 6.4毫米 |
横向间隙 | 0.09英寸 | 2.3毫米 |
杂散场 | < 1 G @ 2 in.d> |
尺寸（宽 x 深 x 高） | 2.8 x 6.8 x 4.5英寸 |
阀门（*主动） | |
阀门类型 | 比例E/V伺服 |
控制类型 | 压力或气流 |
大流量 | 1.5 SCFM |
耗气量（4个隔振器） | < 2 SCFM (no stage motion)d> |
- 3 dB响应 | ≤10 Hz（典型值）。 |
高度控制传感器 | |
输入 | 非接触式感应（涡流） |
电子配置 | 双线式NAMUR |
范围 | 标称15毫米，用于30毫米电线 |
分辨率 | < 1 µmd> |
被动气动安装座 | |
标准承重能力 | 1,000、2,500、3,300、5,700磅@ 80 PSI |
阻尼（10:1） | < 3 sd> |
DC-2020数字控制器 | |
处理器 | 双核： |
模拟I/O | 32/24通道（16/16位） |
采样率 | 标称值为5 kHz |
前面板 | 电源开关 |
后面板 | 电源输入 |
用户界面 | 通过USB或以太网的GUI |
电源 | 90-240 VAC，50-60 Hz，大100 W |
尺寸（宽 x 深 x 高） | 16.8 x 9.0 x 1.75英寸 |
功率放大器 | |
通道 | 8 |
每个通道的大电流 | 7 A |
输入 | 线性 |
峰值功率 | 总共700瓦 |
冷却 | 环境，强制通风 |
保护 | 可复位保险丝、电子热保护、过流、欠压 |
操作 | 遥控或手动 |
尺寸 | 1 RETMA机架单元高度 x 15英寸（381毫米）深 |
*规格可能因配置而异。
**根据前馈控制和MaxDamp隔振器的扰动振幅降低10倍来确定稳定时间。实际的“振铃”不受前馈技术的影响。
应用说明
Electro-Damp®
在Precitech的Freeform L超精密机床上使用PEPS II-VX进行3轴（XYZ）测量,主动空气消振器（OEM）.
