1200双温区触摸屏CVD系统

KJ-T12001200双温区触摸屏CVD系统

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具体成交价以合同协议为准
2023-10-02 17:17:21
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产品简介

简介:KJ-T1200CVD是一种管式炉,配备60mm直径氧化铝管、真空泵和四通道质量流量计+一个浮子流量计气体流动系统

详细介绍

简介: 
    KJ-T1200 CVD是一种管式炉,配备60mm直径氧化铝管、真空泵和四通道质量流量计+一个浮子流量计气体流动系统。它可以混合1-4种气体用于CVD或扩散。 
 
技术参数:
模型 KJ-T1200
部分:标准件
 
 
 
 
 
 
 
管式炉 
展示 LED类型
限度温度 1200℃
工作温度 ≤1100℃
升温速率 建议:0~10℃/min
温区 300mm + 300mm 双区
加热元件 电阻丝
热电偶 K型
温度控制精度 ±1℃ ()
管尺寸 60 / 52mmx 1000mm (OD/ID x L)
材质:石英管 
温度控制 通过可控硅功率控制进行PID自动控制
加热曲线 30 步可编程
真空法兰 不锈钢真空法兰。
法兰的一端有 2 个带倒钩的针阀,装有机械压力表。
 
法兰的另一端有一个带倒钩针阀的 KF25 端口 
功率 220V,50 Hz,单相 6KW
真空泵 旋片真空泵 极限真空 10 -3  Torr。
管内的真空度约为 10 -1  Torr。
(RM温度和空管条件)
流量:2.6 L / S
 (泵照片仅供参考,实际外观取决于最终设计)
旋片真空泵将设计成带轮子的推车。带连接附件
 
包括数字真空计
3.8x10 -5 至 1125 Torr 测量范围
耐腐蚀,与气体类型无关

 
带液晶触摸屏控制器的定制质量流量计
(七星级品牌)
 



 
一个浮子流量计 + 四个精密质量流量计:
MFC 精度为:±1.5% FS
MFC 1 用于氮气:气体流量范围为 0~100 sccm
氢气 MFC 2:气体流量范围为 0~100 sccm
MFC 3 用于甲烷:气体流量范围 0~100 sccm
氩气 MFC 4: 气体流量范围 0~100 sccm
氧气 MFC 5: 气体流量范围 0~100 sccm
 
FFC 1 氩气和氮气混合气体: 气体流量范围 0~100sccm
 
一种气体混合罐(仅适用于 5 MFC)安装在底壳上,5 个不锈钢针阀安装在底壳左侧,用于手动控制 5 种气体混合。

 

 

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
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