KJ-T1200-CVD-大口径CVD管式炉-郑州科佳电炉有限公司手机版

详细介绍

产品介绍：
KJ-T1200大口径CVD管式炉是一种具有60mm直径石英管，真空泵和三通道质量流量计气体流动系统的可拆分管式炉。它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。

产品用途：
包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。
也可用于：真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。

产品参数：

型号	KJ-T1200-CVD
显示	液晶显示屏
部分
炉膛	分体式和上部可以打开
工作温度	1100°C
加热速率	建议：0〜10℃/ min（20℃/ min）
加热温区	500mm
加热元件	钼电阻丝
温度控制精度	±1℃
炉管尺寸	外径200mm X长度1200mm
供电电源	三相380V，50HZ
功率	20KW （功率以实际设计为准）
温度控制器	30段高精度数字可编程温度控制器
第二部分混气系统七星华创
量程 MFC1 H2 0-200sccm 氢气 MFC2 NH3 0-200sccm 氨气 (D07-26C 即可，但是需要特殊要求耐氨的) MFC3 SiH4 0-200sccm 硅烷（CS200A 硅烷专用流量计）	LCD触摸屏
第三部分电阻硅真空计
第四部分射频电源
更多规格可根据需求定制

1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的，我公司将尽快做出处理方案，确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务，包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。
6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

产品简介

详细介绍