性能
- 可用量程:-5000至+5000 slpm;最小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号)
- 标准精度:±(0.8%读数+0.2%满量程),双向
- 高精度(选配):±(0.4%读数+0.2%满量程),双向
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 无需预热时间
品牌
生产厂家厂商性质
所在地
艾里卡特MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MCDW-0.5SCCM-D
MCDW-1SCCM-D
MCDW-2SCCM-D
MCDW-5SCCM-D
MCDW-10SCCM-D
MCDW-20SCCM-D
MCDW-50SCCM-D
MCDW-100SCCM-D
MCDW-200SCCM-D
MCDW-500SCCM-D
MCDW-1SLPM-D
MCDW-2SLPM-D
艾里卡特MCRDW系列低压损双向气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体。
MCRDW-5SLPM-D
MCRDW-10SLPM-D
MCRDW-20SLPM-D
MCRDW-40SLPM-D
MCRDW-50SLPM-D
MCRDW-100SLPM-D
MCRDW-250SLPM-D
MCRDW-500SLPM-D