性能
- 可用量程:0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准质量流量控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 无需预热时间
品牌
生产厂家厂商性质
所在地
艾里卡特MC系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MC-0.5SCCM-D
MC-1SCCM-D
MC-2SCCM-D
MC-5SCCM-D
MC-10SCCM-D
MC-20SCCM-D
MC-50SCCM-D
MC-100SCCM-D
MC-200SCCM-D
MC-500SCCM-D
MC-1SLPM-D
MC-2SLPM-D
MC-5SLPM-D
MC-10SLPM-D
MC-20SLPM-D
艾里卡特MCP系列气体质量流量控制器采用孔径的小型阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCP-10SLPM-D
MCP-20SLPM-D
MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D
艾里卡特MCH系列气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCH-10SLPM-D
MCH-20SLPM-D
MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
MCH-500SLPM-D
MCPH-50SLPM-D
MCPH-100SLPM-D
MCPH-250SLPM-D
艾里卡特MCR系列气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体。
MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
MCR-1500SLPM-D
MCR-2000SLPM-D-PAR
MCR-3000SLPM-D-PAR
MCRH-5000SLPM-D-PAR
艾里卡特MCS系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体。
MCS-0.5SCCM-D
MCS-1SCCM-D
MCS-2SCCM-D
MCS-5SCCM-D
MCS-10SCCM-D
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MCS-50SCCM-D
MCS-100SCCM-D
MCS-200SCCM-D
MCS-500SCCM-D
MCS-1SLPM-D
MCS-2SLPM-D
MCS-5SLPM-D
MCS-10SLPM-D
MCS-20SLPM-D
艾里卡特MCHS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,将两个阀门并排成对,用作一个阀门,实现对高压应用的更强大控制。
MCHS-10SLPM-D
MCHS-20SLPM-D
MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
MCHS-500SLPM-D
艾里卡特MCRS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制。
MCRS-50SLPM-D
MCRS-100SLPM-D
MCRS-250SLPM-D
MCRS-500SLPM-D
MCRS-1000SLPM-D
MCRS-1500SLPM-D
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MCRHS-5000SLPM-D-PAR