性能
- 可用量程:0-1000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MC系列)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 无需预热时间
品牌
生产厂家厂商性质
所在地
艾里卡特MCW系列低压损气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。
MCW-0.5SCCM-D
MCW-1SCCM-D
MCW-2SCCM-D
MCW-5SCCM-D
MCW-10SCCM-D
MCW-20SCCM-D
MCW-50SCCM-D
MCW-100SCCM-D
MCW-200SCCM-D
MCW-500SCCM-D
MCW-1SLPM-D
MCW-2SLPM-D
艾里卡特MCPW系列低压损气体质量流量控制器采用孔径的小型阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCPW-5SLPM-D
MCPW-10SLPM-D
艾里卡特MCHW系列低压损气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门,适用于非腐蚀性气体。
MCHW-5SLPM-D
MCHW-10SLPM-D
艾里卡特MCRW系列低压损气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体。
MCRW-5SLPM-D
MCRW-10SLPM-D
MCRW-20SLPM-D
MCRW-40SLPM-D
MCRW-50SLPM-D
MCRW-100SLPM-D
MCRW-250SLPM-D
MCRW-500SLPM-D
MCRWH-1000SLPM-D-PAR