CZ直拉硅单晶配料工艺软件

多晶硅铸锭（定向凝固）配料工艺软件

拉单晶镓掺杂工艺软件

硅母合金速算王软件

硼磷母合金生产工艺软件

蓝宝石偏光应力仪：PKS-250M

蓝宝石缺陷观测激光笔和偏光镜：LP-100

蓝宝石表面质量检测系统：SQM-500W

蓝宝石3D测量显微镜：HS-WDI-2000

蓝宝石及碳化硅晶片平坦度及表面形态测试仪：FM-200

平整度测试系统：OWT-200

OWT-100无接触厚度测试仪