产品简介：
    OWT-200平整度测试系统，采用光学方法测量晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等材质的表面特征，在无需任何接触的情况下测量厚度、TTV、LTV、弯曲度、平整度等，可在线和离线测量。
 
产品特点：
 ■厚度、TTV、LTV、翘曲度、弯曲度、平坦度测量；
 ■无接触测量；
 ■无需校准；
 ■高精度、高重复性；
 ■样品台可选：4寸、6寸、8寸；
 ■强大的分析软件，可显示3D表面形貌；
 ■同时进行各种参数的测量，具备超高的测试速度；
 
技术参数：
 ■TTV
     ■精确度：±0.1um
     ■重复性精度：0.01um
 ■厚度
     ■精确度：±0.2um
     ■重复性精度：0.1um
     ■测试范围：50-2000um
 ■翘曲度/弯曲度
     ■精确度：0.5um
     ■重复性精度：0.2um
     ■测试范围：200um
 ■整机参数
     ■测量时间：<100秒
     ■测量尺寸：8寸
     ■尺寸：550*602*291mm
     ■整机功率：800W
 
典型客户：
蓝宝石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企业等。