Physik Instrumente紧凑型XY纳米定位系统

P-763 紧凑型XY纳米定位系统

·         行程200微米

·         带电容式传感器，具有高定位稳定性和分辨率

·         落地面积小，边长为70毫米

·         大通光孔径30毫米 × 30毫米

·         行程200微米

·         带电容式传感器，具有高定位稳定性和分辨率

·         落地面积小，边长为70毫米

·         大通光孔径30毫米 × 30毫米

精密级纳米定位系统

双轴，串联运动。带机械杠杆运动放大器的无摩擦柔性铰链接头。电容式位置传感器实现大稳定性和线性度

PICMA高性能压电陶瓷驱动器

带全瓷绝缘的压电陶瓷促动器 使用寿命更长、防潮性能佳、工作温度达80摄氏度

应用领域

科研和工业中的样本操作和定位，也适用于透射光应用

Order Information

P-763.22C XY Nanopositioning System with Small Footprint and Large Aperture, 200 µm × 200 µm, Direct Metrology, Capacitive Sensors

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