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PI(Physik Instrumente)六轴精密压电平台
面议PI P-562.6CD PIMars六轴压电平台系统
面议德国PI PicoCube XY(Z)压电扫描仪
面议PI P-363 PicoCube XY(Z)压电扫描仪
面议P-313 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪
面议德国PI P-313 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪
面议PI PicoCubeXY(Z)压电扫描仪
面议Physik Instrumente紧凑型XY纳米定位系统
面议PI P-734 XY压电扫描仪-北京汉达森
面议PI(Physik Instrumente)压电扫描仪
面议PI P-611.1线性压电定位系统中北大学使用
面议Physik Instrumente压电扫描仪-北京汉达森
面议PI(Physik Instrumente)定位器
P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器
· X和Y向上的行程达100微米×100微米
· 电容式传感器使分辨率达0.1纳米
· 带直接驱动器的高速版本
· 可提供真空兼容和非磁性版本
· 并联运动实现更高精度和动态
· 导向误差主动补偿的并行计量
· 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
· 50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用
PI(Physik Instrumente)定位器
· 扫描显微镜
· 共聚焦显微镜
· 掩模/晶圆定位
· 表面测量技术
· 纳米压印
· 显微操纵
· 图像处理/稳定
· 高运动平面度和直线度的纳米定位
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、*稳定性和千赫兹范围的带宽。