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PI(Physik Instrumente)六轴精密压电平台
面议PI P-562.6CD PIMars六轴压电平台系统
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面议Physik Instrumente压电扫描仪-北京汉达森
面议德国PI(Physik Instrumente)定位器价格
P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器
· X和Y向上的行程达100微米×100微米
· 电容式传感器使分辨率达0.1纳米
· 带直接驱动器的高速版本
· 可提供真空兼容和非磁性版本
· 并联运动实现更高精度和动态
· 导向误差主动补偿的并行计量
· 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
· 50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用
订购信息:
P-733.2VD 精密XY向纳米定位系统,100微米 × 100微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器,真空兼容至10-6百帕
P-733.2UD 精密XY向纳米定位系统,100微米 × 100微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器,真空兼容至10-9百帕
德国PI(Physik Instrumente)定位器价格
· 扫描显微镜
· 共聚焦显微镜
· 掩模/晶圆定位
· 表面测量技术
· 纳米压印
· 显微操纵
· 图像处理/稳定
· 高运动平面度和直线度的纳米定位
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、*稳定性和千赫兹范围的带宽。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对击和振动不敏感。它们*真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
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