行业动态2024/12/25 14:23:30
爱氪森科技PH3磷化氢气体传感器介绍
来源：德国EC Sense2024/1/27 8:54:4695
导读
PH3磷化氢是半导体行业中常用的气体之一，可用于制造磷化氢化学气相沉积(CVD)过程中，因此PH3磷化氢气体传感器在半导体制造业中广泛应用。
爱氪森科技PH3 磷化氢气体传传感器采用三电极设计，可以连续进行气体浓度测量，传感器主要由三电极系统 (工作电极, 对电极, 参比电极)、固态电解质组成，并在恒电位下工作，被气体通过扩散孔到达传感器的工作电极，在电极的多孔微观表面发生电化学氧化或还原反应，反应的质子通过聚合物电解质迁移到对电极，电流信号大小与被测气体浓度成正比。由第一菲克定律表示：i = nFDC
因此，流过的电流与目标气体的浓度成正比，参比电极与恒电位仪保持电位恒定。
优点与特性
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· 灵敏度高
0-20ppm量程范围，分辨率可达到0.01ppm，长期使用稳定性很好，可在持续PH3气体的熏蒸环境中长时间使用；
· 抗中毒
对高浓度气体冲击无中毒现象，一定时间内可自行恢复；
· 耐高湿无漏液
可在高湿环境下长期工作，无漏液现象，传感器性能保持稳定；
· 寿命更长
采用非消耗型固态电解质技术，工业环境下长期使用灵敏度衰减小；
· 微小尺寸
可实现多参数集成设备应用，便携可穿戴设备集成；
· 智能算法补偿
通过对环境中的温湿度变化数据采集，对传感器进行有效的算法自动补偿，确保精准检测；
·温度范围
可在-40°C~55°C环境下正常工作；
·线性度高
全量程线性测量，满足高精度< ±5%FS
输出信号多样化
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·TTL UART Modbus RTU，I2C, SPI；
· 4-20mA, RS485, Wifi, LoRa, 4G；
应用领域
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实现高精度的PH3磷化氢气体浓度检测，及时发现可能存在的泄漏和安全隐患，并采取相应的措施，确保工作环境的安全和人员的健康。因此，PH3磷化氢气体传感器对于保护人员的安全和减少环境污染具有重要意义。以下是主要典型的一些行业应用：
✦ 半导体行业 ✦
PH3磷化氢是半导体行业中常用的气体之一，可用于制造磷化氢化学气相沉积(CVD)过程中，因此PH3磷化氢气体传感器在半导体制造业中广泛应用。
✦ 粮食储藏 ✦
磷化氢还是粮食储藏过程熏蒸杀虫，杀菌，防止粮食长期存放腐败变质。
✦ 农业生产 ✦
PH3磷化氢可作为农业杀虫剂，因此在农业行业中使用PH3磷化氢气体传感器可检测到可能存在的磷化氢泄漏情况，保证工作环境的安全。
✦ 石油化工 ✦
PH3磷化氢可以在一些炼油过程中作为脱硫剂使用，因此在石油化工行业中也需要使用PH3磷化氢气体传感器来检测磷化氢的存在和浓度。
✦ 实验室 ✦
PH3磷化氢气体传感器可以用于实验室环境中，检测PH3磷化氢的存在，确保实验室中的安全。
EC Sense的气体传感器在各大行业及领域均得到了广泛应用，尤其在工业监测领域，可实现PPB级检测分辨率，抗干扰强，稳定可靠，测量精度得到大大提升，用户认可度高，尤其在工业安全领域中便携式检测仪、固定式工业探测报警器、氧气分析仪、在线式监测系统集成等。
原标题：PH3 磷化氢气体传感器(爱氪森科技)
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