DYX-430Y自动匀胶机

DYX-430Y自动匀胶机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-10-02 18:14:53
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三河建华高科有限责任公司

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产品简介

该设备为手动上下片,自动滴胶设备,可完成匀胶后烘焙工艺

详细介绍

该设备为手动上下片,自动滴胶设备,可完成匀胶后烘焙工艺。适用5″标准晶圆,主要应用于分立器件、功率器件等行业。

主要技术特点

匀胶单元

采用不锈钢匀胶腔体,中空轴伺服电机,具有密闭腔盖,保证匀胶过程中不产生胶丝。

热板单元

升温快、烘焙效果好,具有条形凸起,方便人工取放。

胶泵单元

光刻胶采用精密胶泵供给,精度高,供液稳定可靠。

主要技术指标

晶圆尺寸:5″

胶腔数量:3个

胶腔材质:不锈钢

主轴转速:0~5000rpm,:5000rpm

转速精度:±2rpm (50~5000rpm)

光刻胶供给量(Teflon吐出泵):1~10ml

光刻胶供给精度:±0.1ml

光刻胶粘度:≤500Cp

热板数量:1个

温度范围:50~150℃

外形尺寸:L1500mm×W1000mm×H1800mm

重量:400Kg

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