品牌
其他厂商性质
所在地
该设备为手动上下片,自动滴胶设备,可完成匀胶后烘焙工艺。适用5″标准晶圆,主要应用于分立器件、功率器件等行业。
主要技术特点
匀胶单元
采用不锈钢匀胶腔体,中空轴伺服电机,具有密闭腔盖,保证匀胶过程中不产生胶丝。
热板单元
升温快、烘焙效果好,具有条形凸起,方便人工取放。
胶泵单元
光刻胶采用精密胶泵供给,精度高,供液稳定可靠。
主要技术指标
晶圆尺寸:5″
胶腔数量:3个
胶腔材质:不锈钢
主轴转速:0~5000rpm,:5000rpm
转速精度:±2rpm (50~5000rpm)
光刻胶供给量(Teflon吐出泵):1~10ml
光刻胶供给精度:±0.1ml
光刻胶粘度:≤500Cp
热板数量:1个
温度范围:50~150℃
外形尺寸:L1500mm×W1000mm×H1800mm
重量:400Kg