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 等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：

(1) 电场＋电子→高能电子

(2) 高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团

(3) 活性基团＋分子(原子)→生成物+热

       经过低温等离子净化后，废气尚含有部分小分子的物质及臭氧，采用水洗工艺可以对污染物进行进一步处理，同时减少废气中臭氧含量，因此在此过程中，部分小分子有机物可进一步被羟基自由基氧化而予以去除。

去除污染物的基本过程：

过程一：高能电子的直接轰击；

过程二：O原子或臭氧的氧化:O2+e→2O-；

过程三：OH自由基的氧化: H2O+e→OH+H  H2O+O→2OH  H+O2→OH+O；

过程四：分子碎片+氧气的反应。

​低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。印刷加工厂voc废气治理公司​