设备配置：

　　一、手套箱

　　1.金属薄膜沉积与器件封装、检测用手套箱1台：

　　1.1 箱体尺寸：双工位手套箱，长度约1800 mm。箱体预留镀膜机接口法兰，手套箱后板可安装一台镀膜机，手套箱内具有安装器件封装与性能检测装置的空间。

　　1.2 配置4只手套，可方便实现沉积室取送样品，以及器件封装与性能检测等操作。

　　1.3 配置≥ 2套KF40标准接口。

　　2.手套箱技术指标与功能要求：

　　2.1箱体材料：不锈钢箱体。

　　2.2箱体结构：具有可拆卸的安全玻璃视窗;配双层不锈钢物架;带有安全阀;

　　2.3密封性：视窗与箱体之间无泄漏，手套口与手套和视窗之间密封良好、耐用，无泄漏。

　　2.4泄露率：≤ 0.05vol%/h，泄漏率可检测;H2O < 1ppm，O2< 1ppm。

　　2.5 净化效率：高净化效率，再生间隔时间长。

　　2.6 过渡仓：手套箱的箱体外侧各另设置一个过渡舱，过渡仓尺寸≥ 150mm，长度为300 mm。

　　2.7传送及操作方式：过渡仓内设置可滑动托盘，样品可通过移动托盘传送至手套箱内，托盘易于拆卸;手动操作。

　　2.8控制系统：用户友好的中英文操作界面的触屏。实现以下控制功能：工作压力调节、箱内气体自动清洗、箱内气氛自动报警、显示操作错误提示、可手动或自动检测泄漏率等。

　　2.9 其他附件：

　　(1)真空泵，气体纯化系统：气体纯化柱、循环风机、有机溶剂吸附柱;

　　(2)水、氧分析仪：分析仪精度0.2 ppm或以上;分析仪输出可直接连接到触摸控制屏，可对气体循环系统进行自动控制，实现自动循环;可设定报警值;

　　(3)箱内电源接口：配多孔电源插座。

　　(4)手套箱总体功能要求：样品送入大(或小)过渡仓后，可在高纯气氛或真空气氛条件下实现有机薄膜沉积、金属电极薄膜沉积、器件封装及性能检测等功能。

　　(5)手套箱验收标准：使用99.999%惰性气源，空箱运转，箱内水氧含量均小于1ppm。

　　二、真空热蒸发镀膜机系统

　　1. 技术要求：

　　1.1真空度: 极限真空< 2.5*10-5Pa，工作真空度< 8*10-4Pa，抽速：从大气抽至10-4Pa用时应≤ 30min;

　　1.2样品架：

　　(1)可对样品实施360度电动旋转，转速可在0 ~ 30转/min内连续调节。

　　(2)高度可调，蒸镀距离在120-250mm范围内可调节。

　　1.3样品尺寸：样品基本尺寸为15×15mm/块，可分别承装如

　　下数量的样品：

　　(1)3块×3块排列方式，可承装9块/次。

　　(2)4块×4块排列方式，可承装16块/次。

　　1.4各密封接口真空漏率≤ 5×10-9Torr?L/s(用进口氦质谱检漏仪检测)。

　　1.5 膜厚控制设备：膜厚探头2个，探测数据可同时显示在膜厚仪上。

　　1.6 样品台(基片台)配备挡板，蒸发源配备可有效防止不同材料交叉污染的遮挡装置。

　　2. 配置：

　　2.1 真空沉积腔体：具有观察窗，手动开门设置方便取样和进样。

　　2.2镀膜机与手套箱的连接方式： 要求镀膜机位于手套箱外(背后)，蒸发室在手套箱内有方形门，可实现样品由手套箱内直接传进蒸镀室。要求蒸镀室与箱体之间无泄漏，蒸镀室口与手套箱接口密封良好、耐用，无泄漏。

　　2.3要求蒸发室在手套箱外另有一个门，手动开门设置，便于清理和维修操作。

　　2.4 蒸发源4套：可蒸发金(Au)、 银(Ag)、铬(Cr)、钛(Ti)、铝(Al)、铂(Pt)、氧化钼(MoO3)和LiF等材料。蒸发源相关的其他要求如下：

　　(1)蒸发电极可加载蒸发舟或者钨篮，配备标准钼舟及钨蓝各10个。

　　(2)蒸发电源1套，可转换供四套蒸发源使用，可在一次抽真空操作后实现4种材料的顺次蒸镀，既可连续蒸镀4层不同材料。

　　2.5 真空获得系统：预抽机械泵1个，分子泵1个以及相应的附件，分子泵水冷系统;分子泵与沉积室之间具备闭锁条件。

　　2.6升降样品架。

　　2.7真空测量系统。

　　2.8膜厚测试系统。

　　2.9工作台：含真空计，蒸发源电源和相应控制系统，加热源控制系统，膜厚测量系统，总电源控制区。