多功能快速退火炉

多功能快速退火炉

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具体成交价以合同协议为准
2023-10-11 16:33:42
9
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北京维意真空技术应用有限责任公司

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产品简介

快速热处理退火炉简称RTP(RapidThermalProcessingFurnace),由我公司借鉴了制造工艺,在管式炉的基础上自主研发而成。这款不但拥有很快的升温速率100℃/S,而且降温速率也有了质的飞跃,降温速率100℃/S。  应用领域  Ø快速热退火(RTA);离子注入后退火  Ø石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长  Ø快速热氧化(,RTO);热氮化(RTN);  Ø硅化(S

详细介绍

  快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),由我公司借鉴了制造工艺,在管式炉的基础上自主研发而成。这款不但拥有很快的升温速率100℃/S,而且降温速率也有了质的飞跃,降温速率100℃/S。

  应用领域

  Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火

  Ø 石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长

  Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);

  Ø 硅化 (Silicidation);

  Ø 扩散 (Diffusion);

  Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);

  Ø 电极合金化 (Contact Alloying);

  Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);

  主要特点

  Ø 极速升温100℃/S,极速降温100℃/S;

  Ø 双层炉管结构,气氛与样品接触更均匀;

  Ø 样品实际温度数据可通过手机APP导出excel表格(选配);

  技术参数:

产品名称

RTP快速升温炉

产品型号

RTP1100

额定温度

1100℃

温场均匀性

±2℃

炉膛升温速率

≥100℃/S

降温速率

≥100℃/S

操控系统

智能AIO操作系统

操作界面

7英寸触摸屏

加热方式

短波红外线加热

加热腔体结构

双层石英管

外管直径

100mm

内管直径

80mm

气体保护方式

外管进气,内管出气

超温保护

温度出现过高时切断主回路

式样有效空间

70*100mm

真空系统

8L/S双级联真空系统(选配)

整机真空度

3Pa

真空启动方式

根据程序设置自动启停

抽气端口尺寸

KF16

供气口尺寸

1/4英寸双卡套

法兰冷却方式

水冷(短时间无需水冷)(可选配水冷机)

真空显示

真空压力表(可选配数显真空计)

上位机操控

基于安卓系统APP(选配)

数据导出方式

APP导出Excel表格(选配)

额定功率

12kw

外形尺寸

950*500*560mm

重量

50kg

配件

管堵2支,法兰水冷套1支,耐温手套1双,坩埚钳1把,说明书1本。

 

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