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快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace)，由我公司借鉴了制造工艺，在管式炉的基础上自主研发而成。这款不但拥有很快的升温速率100℃/S，而且降温速率也有了质的飞跃，降温速率100℃/S。
应用领域
Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火
Ø 石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长
Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);
Ø 硅化 (Silicidation);
Ø 扩散 (Diffusion);
Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);
Ø 电极合金化 (Contact Alloying);
Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);
主要特点
Ø 极速升温100℃/S，极速降温100℃/S;
Ø 双层炉管结构，气氛与样品接触更均匀;
Ø 样品实际温度数据可通过手机APP导出excel表格(选配);
技术参数：
| 产品名称 | RTP快速升温炉 |
| 产品型号 | RTP1100 |
| 额定温度 | 1100℃ |
| 温场均匀性 | ±2℃ |
| 炉膛升温速率 | ≥100℃/S |
| 降温速率 | ≥100℃/S |
| 操控系统 | 智能AIO操作系统 |
| 操作界面 | 7英寸触摸屏 |
| 加热方式 | 短波红外线加热 |
| 加热腔体结构 | 双层石英管 |
| 外管直径 | 100mm |
| 内管直径 | 80mm |
| 气体保护方式 | 外管进气，内管出气 |
| 超温保护 | 温度出现过高时切断主回路 |
| 式样有效空间 | 70*100mm |
| 真空系统 | 8L/S双级联真空系统（选配） |
| 整机真空度 | 3Pa |
| 真空启动方式 | 根据程序设置自动启停 |
| 抽气端口尺寸 | KF16 |
| 供气口尺寸 | 1/4英寸双卡套 |
| 法兰冷却方式 | 水冷（短时间无需水冷）（可选配水冷机） |
| 真空显示 | 真空压力表（可选配数显真空计） |
| 上位机操控 | 基于安卓系统APP（选配） |
| 数据导出方式 | APP导出Excel表格（选配） |
| 额定功率 | 12kw |
| 外形尺寸 | 950*500*560mm |
| 重量 | 50kg |
| 配件 | 管堵2支，法兰水冷套1支，耐温手套1双，坩埚钳1把，说明书1本。 |
