德国马尔Marsurf UD 120组合式轮廓和粗糙度测量仪
德国马尔Marsurf LD 120组合式轮廓和粗糙度测量仪
德国Mahr Marsurf UD 120组合式轮廓和粗糙度测量仪
德国Mahr Marsurf LD 120组合式轮廓和粗糙度测量仪

德国Mahr马尔MarSurf UD 120 / LD 120 轮廓和粗糙度测量二合一
采用Mahr的计量技术，轮廓测量和粗糙度测量可以经一次测量后同时解决。秉承这一的理念，Marsurf UD120和Marsurf LD120 可为您提供纳米级分辨率的高精度测量。其中的技术包括：测头更换装置、根据测量操作的自动识别系统等等…..

组合式的轮廓和粗糙度测量

·德国Mahr马尔MarSurf UD 120组合式轮廓和粗糙度测量仪组合
Marsurf UD 120组合式轮廓和粗糙度测量仪是一次测量完成轮廓和粗糙度评定的通用基础设备，它具有纳米级的分辨率。

·德国Mahr马尔MarSurf LD 120组合式轮廓和粗糙度测量仪
德国Mahr马尔MarSurf LD 120粗糙度轮廓测量仪多年来在客户市场上，代表了轮廓和粗糙度测量的技术。其的技术参数，如残余误差Rz = 35 nm、动态测力控制范围0.5~30mN等，保证了设备能达到要求的准确度，即使是精度的工件测量要求。
受通用软件和自动控制理念的支持，Marsurf UD 120组合式轮廓和粗糙度测量仪提供了一个具备Mahr技术的轮廓和粗糙度测量站。软件控制建立在一个如今被叫做“MarWin”的软件平台之上，实现了模块化和通用性，易于操作。Marsurf UD 120粗糙度轮廓测量仪随机配备了XCR 20 CNC软件包，提供了广泛的测量和评定功能，尤其对于轮廓和粗糙度。驱动轴和立柱升降轴可同坐操作杆进行控制，也可通过程序控制。
·说明
- 一次测量完成粗糙度和轮廓评定
更少的时间、更快的操作、更可靠的结果、更高效的工作，仅仅一个测量，得到所有粗糙度和轮廓参数的结果。给您留下更多的时间完成其它任务！
-最现代的转换科技，更适合小允差工件
由于设备可以实现在大测量范围上以高分辨率进行高精度的测量，您可以为您的加工任务留出更小的允许误差，而承担新的挑战。
-创新的测臂移动概念实现稳定性
移动测臂，采用了桥式结构设计，保证了的刚性、最小的测量震动和平直度；这样一来，使用中，您可以构建任意尺寸的桥式结构！
-测臂的磁性挂架
磁性的安装设计可以确保系统高频次的使用，碰撞安全保护，也可实现长使用寿命。

德国Mahr马尔MarSurf UD 120 / LD 120测量站原理

·测量站组成部分
驱动器 MarSurf UD 120 /LD 120
Marsurf UD 120 / LD 120 驱动器可轻易实现0.1mm到120mm的测量行程，速度控制在0.1到2mm/s以内，由于X轴采用高精度光栅尺，可实现自动定位。
·测头系统工作原理
测头工作原理是基于一个带测尖的摇杆系统，摇杆的另一端是衍射栅格，可以测量摇杆的摆动角度。发光二极管发出的光照射在衍射栅格上，产生干涉图形。测尖的上升和下降都会使接收端的干涉图形产生改变，后续的评定电路可以确定栅格的位置，也就确定了测尖的位置。
一个移动的旋转电机用于Z方向的测头定位，以确定测头运动方向和实现测力控制。
为了满足大多数常见的应用，Marsurf LD120测头组中默认配备了LD A14-10-2 90°, LD A14-10-500 (LD 120), 和LD A14-10-2 60° (UD 120) 几种测臂。测头的刚骨架结构保证了测量时的高直线性、高精度和高可靠性。
为了满足其它不同的测量任务，还有多种几何尺寸的测头和测尖备选。根据您的测量任务的不同，你可以用2μm的金刚石测尖做粗糙度测量，也可以使用25μm的碳钢测尖作轮廓测量，也可以使用红宝石测球。用过这种不同的测尖选用，短波和长波的轮廓组成部分就都可以在一次测回之后被记录以及评定。
·UD 120 / LD 120进行测量过程

简单、快速、可靠，一次直接测量工件得出结果:

德国Mahr马尔MarSurf UD 120组合式轮廓和粗糙度测量仪

·配置清单
MarSurf UD 120 测量站发运清单
订货号. 6910046
计算机，Marsurf XCR 20软件 6268382
包括：Midrange 控制箱和软件
多国语言版Win 7 62682xx
19“ TFT 液晶显示器 5460043
Marsurf UD 120驱动器 6720817
包含：测臂LD A 14-10-2/60° 6852005
手动控制面板 MCP 21 7033935
测量立柱 ST 500 CNC，带HZ调节
以及大理石平台 6710254
包括：控制模块 6851376
测头 UD 120 / Ld 120
安装在测量立柱 ST 500上 6851360
安全装置 UD 120 / LD 120 7033457
校准标准 6820121
X/Y 工作台 CT 200 6710530
防震垫 6851368
·技术参数
测量系统 光学测量系统
行程长度 0.1 mm ~ 120 mm
测头测量范围 10 mm ~ 20 mm (采用双倍长度测臂)
标准测尖 Ld a14-10-2/60°, 金刚石2 μm, 60° (6852005)
Z向分辨率 2 nm
水平测量轴 光栅
X方向点距 0.25 μm ~ 1μm
残余误差 60 nm
接触力 1 mn ~ 30 mn，可通过软调节
测量速度 0.1 mm/s ~ 2.0 mm/s，可以0.1mm增量增加，用于轮廓测量≤ 0.5 mm/s，用于粗糙度测量
返程速度
X方向定位速度 4 mm/s
接触.2 μm
距离测量显示误差， MPeea ± (1 +2L/150) μm
例如：测量距离50 mm时，误差为 ± 1.66 μm
角度测量误差 1.5 min
半径测量误差 MPerr ≤ 10 mm ± 1.5 μm
10 mm < r ≤ 100 mm ± (3r/20) μm
r > 100 mm ± (7.5 + 9r/40) μm
例如：r 10 mm，误差为 ± 1.5 μm
一般参数
工作环境温度 15 °c ~ 30 °c
建议工作温度 20 °c ± 2 K
存放温度/运输温度 0 °c ~ 40 °c (于专用运输箱内)
相对湿度 30 % ~ 80 %
·附件
在 MarSurf UD 120 / LD 120上进行简单而准确的测臂更换
对大多数的工件来说，标准配置的测头就可以在多种测量位置上进行轮廓和粗糙度的测量。但是，并不是所有测量任务都可以用一个测臂完成，比如：小孔内的测量、深沟槽内的测量、上下双向测量，以及其它测量任务。这时，更换测臂也非常简单。不需要任何工具，磁性装夹的测臂可以轻易地用手摘下，换上另一个测臂，不过几秒钟时间。一个球形的定位器可以保证定位精确到以微米计。
只要换上的测臂已经校准过，校准参数就已经保存了，这意味着：更换测臂后无需重新校准！
从操作方便和节省时间的角度来看，这是 Marsurf UD 120的一个实质性优点!

德国Mahr马尔MarSurf LD 120组合式轮廓和粗糙度测量仪
·MarSurf LD 120测量站发货清单
订货号 6910046
计算机，带Marsurf XCR 20软件 6268382
包括：Midrange控制器和软件
多国语言版Win XP 62682xx
19“ TFT 液晶显示器 5460043
Marsurf UD 120驱动器 6720814
包括： 测臂
手动控制面板 MCP 21 7033935
ST 500 CNC 立柱 6710254
带HZ调节和大理石平板
包括：控制模块 6851376
UD 120 / LD 120测头
安装于ST 500测量立柱上 6851360
UD 120 / LD 120安全保护装置 7033457
校准标准 6820121
X/Y 向工作台CT 200 6710530
防震墊 6851368
·技术参数
测量系统 光学测量系统
行程长度 0.1 mm ~ 120 mm
测头测量范围 10 mm ~ 20 mm (采用双倍长度测臂)
标准测尖 Ld a14-10-2, 金刚石2 μm, 90° (6852002)
Ld a 14-10-500, 红宝石测球，500μm (6852003)
Z向分辨率 2 nm
水平测量轴 光栅
X方向点距 0.05 μm ~ 1μm
残余误差 35 nm
接触力 0.5 mn ~ 30 mn，可通过软调节
测量速度 0.5 mm/s ~ 2.0 mm/s，可以0.1mm增量增加，用于轮廓测量≤ 0.5 mm/s，用于粗糙度测量
返程速度
X方向定位速度 4 mm/s
接触.1 μm
距离测量显示误差，MPeea ± (1 +L/100) μm
例如：测量距离50 mm时，误差为 ± 1.5 μm
角度测量.5 min
半径测量误差 MPerr ≤ 10 mm ± 1.5 μm
10 mm < r ≤ 300 mm ± (r/10) μm
r > 300 mm ± (30 + r/5) μm
例如：r 10 mm，误差为 ± 1.5 μm
一般参数
工作环境温度 15 °c ~ 30 °c
建议工作温度 20 °c ± 2 K
存放温度/运输温度 0 °c ~ 40 °c (于专用运输箱内)
相对湿度 30 % ~ 80 %
·MarSurf LD 120 附件

MarSurf LD 120带来的准确度
正如前面列出的LD 120的技术参数值所示，35nm 的残余误差值、2nm 的分辨率、0.5~30mN 的稳定测力、最小0.05μm 的测量点距，LD120测头能使微观表面上和边缘倒角上的精确测量变得可能。但对于客户来说，更关键的是订购的设备是不是能够顺利的通过验收，以及设备的能力是否能满足测量任务的要求。
Marsurf LD 120已经通过了世界范围数百家客户的测试和证明。通过机械技术、光学技术、控制技术和软件技术的优化交互使用保证了测量的高准确度，您可以通过该设备的测量可靠地将尺寸误差控制到微米级别。

应用举例