真空钼丝炉技术资料

ZM-25-16

   一、真空钼丝炉主要技术参数

额定功率：                 25kW

电炉电压：                 ≦70V

加热区数：                 1区

额定温度：                 1600℃   

空炉升温时间：             ≦90分钟（空炉）

有效加热区：               ￠150×200mm

极限真空度：               6.67×10^-3Pa

真空系统配置：      TK-200扩散泵,2X-30机械泵、GI-200手动蝶阀,GI-50手动蝶阀、不锈钢波纹管等

温度控制方式：     数显温度程序控制仪+可控硅电压调整器+变压器手动/自动联锁保护控制

   控温范围：       室温——1600℃采用WRE型钨铼热电偶控制

温度控制精度:      ≤±1℃

面板显示：       电流、电压、温度、真空度

二、真空钼丝结构简介

本真空钼丝炉主要由炉体、真空系统、水冷系统及电器控制系统等部分组成。

1、炉体

炉体为立式结构，它由炉身、炉盖、炉底及隔热屏和加热器、承料台等组成。

（1）、炉身由内、外炉筒与法兰盘焊接成而成，双层夹壁之间可以通冷却水进行冷却，内炉筒采用不锈钢板制作；炉身上设有电极引出装置、热电偶测温装置；

（2）、炉盖是由双层封头及法兰盘组焊而成，采用双层夹壁结构，内、外封头内有循环冷却水进行冷却，炉盖内封头采用不锈钢板制作；炉盖的开启是采用手动顶升并平移的方式，炉盖上设有压紧装置及排气孔、防爆口。

（3）、炉底是由双层封头及法兰盘组焊而成，采用双层夹壁结构，内、外封头内有循环冷却水进行冷却，炉底内封头采用不锈钢板制作。炉底安装有充气孔及底部隔热屏和坩埚支撑平台。

（4）、隔热屏采用全金属材料制作，结构型式为圆形隔热屏，由钼片及不锈钢片组成；加热器也采用圆形结构型式，采用多股钼丝加工成之字形，安装在隔热屏的圆周上，经加工使其形成一个整体，能方便的安装和维护；加热器的绝缘材料均采用高纯氧化铝陶瓷；承料架采用钼材料加工而成。

2、真空系统

真空系统由TK-200扩散泵,2X-30机械泵、GI-200手动蝶阀,GI-50手动蝶阀、真空压差阀及放气阀、不锈钢波纹管及真空测量仪等组成，真空测量仪选用电阻数显真空测量仪。

3、水冷系统；

水冷系统由总进水管、总出水管、多路分进水管、多路分出水管、阀门及压力表等组成。

冷却水由总进水管经过各分进水管进入到炉壳、炉盖、电极、机械泵等需要冷却的地方，再经各分路出水管汇集至总出水管排出。

总进水管上设有电接点压力表，当总进水压力低于设定值时，控制系统会有声光报警并能自动切断加热器电源。每路分进水管上都装有手动阀门，可以对单路的冷却水的流量进行调节。

4、电器部分

电炉的功率控制采用可控硅功率控制器＋低电压大电流变压器，可控硅功率控制器采用移相触发方式来实现电压的无级调节，从而达到自动控制功率的目的（也可采用手动方式）。

温度控制采用数显智能程序控制仪，可根据需要设定多段升温曲线，从而达到自动控制温度的目的。