升华系统

-提高下一代OLED显示器有机原材料的纯度。

-高真空维持技术，实现高纯度有机材料的研发与量产。

-实际检测石英管内部温度后，进行偏差补偿

-安装液氮双阱，提高真空度，有效阻止泵回流

-气化低温氮气（-100度～-50度）的再利用实现液氮高效性，节省成本

-延长真空计使用寿命

-设计简化

 1)紧凑设计，无真空死角。

 2)零部件容易安装拆卸。

 3)各设备部件内层，外层，都进行表面处理。

 4)使用抛光不锈钢材料，外形美观且便于清洗。

-根据客户需求制定真空室的直径:

   50，80, 100, 120, 150, 200, 250, 300, 400,  500(mm)

-拥有供应多台R&D设备（50mm～120mm ）的业绩： 50台以上。

-拥有供应多台量产型设备（200mm～300mm ）的业绩：50台以上。

-有多种真空泵的组合模式： Rotary Pump + Diffusion pump ; Dry Pump + Turbo Pump; Dry Pump + cryo Pump.

-保障在业界拥有较好水平的截面温度均一性。

-保障产品的高收益及高真空度。

- 开发了横向型，纵向型升华设备。

升华系统