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一、工业超纯水制取装置概述:
采用反渗透水处理设备与混床离子交换设备进行组合的方式制取工业用超纯水工艺的原理是:以反渗透出水做为二级原水,加压进入混床离子交换柱,制取满足工业生产所需的高纯水,终出水水质电阻率≥15MΩ.cm。此工艺常用的工艺流程为:原水池→原水增压泵→砂滤→炭滤→软水器→精密过滤器→缓冲水箱→反渗透设备→纯水箱→增压泵→混床(复床)→超纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。采用此工艺流程超纯水系统可适用各种原水水源。
反渗透+混床超纯水设备系统是现代电子工业,如:半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路等行业制备纯水、超纯水常用、实用的系统工艺。
二、工业超纯水制取装置特点:
在现代电子工业高速发展的今天,工业生产对用水的要求也非常高。如半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路等行业就需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。
三、单级反渗透设备+混床超纯水处理系统的应用领域
1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水;
2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水;
3、实验室和中试车间用超纯水;
4、汽车、家电表面抛光处理;
5、光电子产品;
6、其他高科技精微产品。
而采用单级反渗透+混床离子交换系统工艺是现代电子行业工业生产用纯水、超纯水常用的生产工艺。