日本horiba非接触式化学浓度监测仪CS-900

总览

下一代湿法HORIBA通过控制化学药品浓度来提高产量并优化工艺。

为了在半导体制造过程中遵守严格的化学浓度控制，我们实现了满足现场需求的z佳功能，例如稳定的测量精度，考虑到工作安全性的*管道固定结构以及紧凑的设计。

特征

实现*的非接触式和高稳定性

外部直接连接到PFA管道的*传感器结构消除了污染的风险。此外，它消除了安装传感器时的管道工作需求，并消除了化学泄漏等事故的风险。此外，通过更新传感器的光学系统，我们实现了小型化，同时保持了与常规产品（CS-600F ^{* 1}）相同的可重复性和稳定性。

高质量和稳定的测量

• Contami风险为“零”

• 重现性和稳定性相当于传统产品CS-600F ^{* 1}

• 纠正由于液温变化而引起的显示器读数变化

• 采用HORIBA独chuang的算法来纠正气泡的影响

抑制振动效果

• 采用HORIBA独chuang的光学系统结构，可防止管道固定和未对准

节省空间

• 将光源和光谱仪集成到电池单元中

• 显示器使用面板安装类型（9.6厘米x 9.6厘米）

延长光源寿命

• 采用LED灯，使用寿命更长（5年保修）

改善工作安全

• 半年一次的BG校正周期

• 由于安装传感器时无需安装管道，因此降低了发生化学泄漏等事故的风险。

* 1 CS-600F是HORIBA的光纤型化学浓度监测仪。

由于不使用光纤的光学设计以及放大器和传感器的小型化，增加了安装布局的灵活性

实现直接和稳定的化学物质测量（20°C至80°C）

■稳定性

测量条件
测量周期：每3秒测量时间：1小时
移动平均值：16次温度：室温管径：3/4英寸
样品浓度（在测量开始时）
NH ₃：0.95％H ₂ O ₂：5.15％H ₂ O ：93.9％

测量结果作为
样品（实际溶液）的1小时的测量结果，显示出良好的稳定性。

日本horiba非接触式化学浓度监测仪CS-900

规范