lintec高性能数字质量流量控制器MC-3000L 便携式超声波流量计

lintec高性能数字质量流量控制器MC-3000L 便携式超声波流量计

参考价: 订货量:
￥ 10000 10000台

具体成交价以合同协议为准
2023-11-10 15:10:11
31
属性：
品牌:其他品牌；
>
产品属性
品牌
其他品牌
关闭
秋山科技（东莞）有限公司

秋山科技（东莞）有限公司

免费会员
收藏

组合推荐相似产品

产品简介

lintec高性能数字质量流量控制器MC-3000L
高性能数字质量流量控制器，具有 ±1% SP 保证。

详细介绍

lintec高性能数字质量流量控制器MC-3000L

image.png

高性能数字质量流量控制器，具有 ±1% SP 保证。

LINTEC的环境温度补偿传感器即使在低温下也能实现高精度的流量测量。 它可抑制由于传感器受热而导致的老化劣化，甚至可以控制流量，即使是臭氧等高度可降解的气体。

作为选项，高性能、数字质量流量控制器可以处理液化气、微流量 F.S.、宽范围、表面间距和接头名称。


长处

  • 准确度±1%SP

  • 工作温度 5~50°C

  • 金属密封件

  • 清洁（保证颗粒）

  • 环境温度补偿传感器

  • RS-485 通信

选择

  • 微流 F.S.

  • 兼容液化气

  • 宽

使用示例

半导体制造预处理

由于CVD（化学气相沉积）ALD沉积设备和蚀刻设备中使用高活性气体，因此具有高耐腐蚀性金属密封的气体质量流量控制器至关重要。

此外，前驱体在常温常压下含有大量液化气体，因此具有耐热性且不易液化的阀门结构很重要。 MC-3000L高精度质量流量控制器可从液化气选项中选择，最高工作温度为50°C（可选55°C）。

分析器

分析仪可能需要控制分钟流速，但一般质量流量控制器的最小F.S.为5 SCCM，无法控制分钟流速。 MC-3000L高精度质量流量控制器可选配F.S.1SCCM或更低尺寸。 详情请联络我们。

此外，高精度质量流量控制器MC-3000L还标配低死体积隔膜阀。

lintec高性能数字质量流量控制器MC-3000L

规格


温度最小压差最大压差精度控制范围低标准最高 F.S.密封
5~50°C50kPa300kPa±1%自保2~100%F.S.5SCCM400SLM金






* 规格表为具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过选项进行更改。



上一篇：VSE流量计 VS1 GPO54V 32N11/4设计原理 下一篇：VSE流量计 VS 0.4 GPO 12V-32N11/2设计原理
提示

请选择您要拨打的电话：

47902 [{"ID":"6057","CompanyID":"296","Title":"VSE流量计 VS1 GPO54V 32N11/4设计原理","Picture":"","PictureDomain":"","UpdateTime":"2021/12/22 18:10:01","CreateTime":"2021/12/22 18:10:01","ClassName":"解决方案","rn":"3"},{"ID":"6056","CompanyID":"296","Title":"VSE流量计 VS 0.4 GPO 12V-32N11/2设计原理","Picture":"","PictureDomain":"","UpdateTime":"2021/12/22 18:10:01","CreateTime":"2021/12/22 18:10:01","ClassName":"解决方案","rn":"4"}]