日本ARK高输出型晶圆外围曝光UV-LED光源 光学测量仪
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EW04S日本ARK高输出型晶圆外围曝光UV-LED光源 光学测量仪

参考价: ￥10000~￥100000
具体成交价以合同协议为准
2023-10-02 15:24:01
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秋山科技（东莞）有限公司

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产品简介

日本ARK高输出型晶圆外围曝光UV-LED光源EW04S
用于g线和i线光刻胶晶圆外围曝光的UV-LED光源。 光学设计可实现 7，000 mW/cm² 或更高的高输出。

详细介绍

日本ARK高输出型晶圆外围曝光UV-LED光源EW04S


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用于g线和i线光刻胶晶圆外围曝光的UV-LED光源。 光学设计可实现 7，000 mW/cm² 或更高的高输出。 它是加工厚膜抗蚀剂的理想选择，这过去需要大量的加工时间。 此外，曝光处理时间可以大大减少，这极大地促进了加工晶圆数量的增加。

日本ARK高输出型晶圆外围曝光UV-LED光源EW04S

规范

项目物质
工作环境温度5~40°C（无冷凝。 ）
电源电压单相 100~240V
工频50/60赫兹
发射峰值波长365±5纳米
光输出稳定性±5%以内
初始紫外线强度2000mW/c㎡以上（AT365nm，距掩模0.5mm）
强度分布的均匀性10%以下（4×5mm面积）
紫外光源紫外发光二极管
紫外光源寿命20000 小时（估计使用寿命，最大驱动电流） *初始阶段UV强度为50%或更高的照明积分时间
照射开/关功能紫外线 LED 开/关控制 （通过远程和手动控制打开/关闭）
光强调节功能UV-LED电流调节 光强调节范围 20~100%
外饰材料不锈的
外部尺寸150（宽）×200（深）×192（高）毫米


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