前缀

编码

180A Analog

180A

气体选择

Helium, He

001

Argon, Ar

004

Hydrogen, H2

007

Nitrogen, N2

013

Oxygen, 02

015

流量选择（zui大30000 N2当量）

10

11C

20

21C

50

51C

100

12C

200

22C

500

52C

1000

13C

2000

23C

5000

53C

10000

14C

20000

24C

接口法兰选择（兼容）

Swagelok® 4 VCR® male

R

1/4" Swagelok（兼容） Compression

S

C密封

C

W密封

H

阀门选择

没有阀门

3

模拟接口

9针“D”类型

A

15针“D”类型（MKS）

B

15针“D”类型（交替）

E

Profibus

4

DeviceNet

6

密封选择

金属密封

M

版本-*总线适配器

除了客户，MKS公司将给当前的版本

XX

可选配件

ALTA数字软件用户界面工具包（单证）

模拟量I／O版本，USB通信，USB端口键**

1037539-001

模拟量I／O版本，USB通信，并行端口**

1037539-002

模拟量I／O版本，RS-232通信，USB键**

133730-G1

模拟量I／O版本，RS-232通信，并行端口键**

133730-G2

USB端口的PC DeviceNet版本***

133900-G1

与PC机并行端口的DeviceNet版本***

133900-G2

更换USB端口键

133897-G1

更换并行端口键

133897-G2

180A接线方式

使用USB电缆数字ALTA MFC转换器组件

模拟量I / O接口与PC机（包含在1037539套件内）

1037538-001

电缆使用MKS 246 / 247电子数字ALTA 15针D

模拟量I／O接口（XX表示所需长度，例如CB1480-1-10）

CB1480-1-XX

RS-232电脑延伸电缆10英尺（包含在133730套件内）

095-103377

RS-232电缆用于ALTA MFC模拟数字转换器组件

模拟量I/O接口与PC机（包含在133730套件内）

134566-G1