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产品特点:
● 技术的CMOS传感器设计,杜绝了零点漂移的问题。
● 小于150ms的超快速的响应时间。
● 5sccm到450slm的量程范围内确保了精确和可重复的流量测量和控制
● 高精度的测量精度(读数值的0.5%+0.3%的全量程)
● *的内部抗紊流设计,可以消除因上游的压力变化而导致下游气体流量的变化。
● 多达6个点的流量校准点,比很多其他品牌流量计5个点的校准点,意味着更好的线性度;特别是在0-20%的流量控制范围。
● 只有1秒的热机时间,减少因MFC预热时间而影响生产
● 全量程1%-的超宽量程比控制,为用户提供更广的应用选择
● 可以显示流量设定值,实际测量值,气体类型以及累积气体消耗量等信息,同时可以测量所控制气体的温度。
● 不锈钢的表面处理、洁净室要求的处理,和zui少的橡胶密封件使用保证了在清洁工艺中的使用要求。
● 可提供Analog(0-5VDC,4-20mA),Profibus DP,RS485/Modbus等控制方式,
● 可提供16种气体的多气体/多量程的设置
● 3年超长的质量保证
● 符合欧洲CE,EMC标志
OEM版本
同时瑞士Vogtlin质量流量控制器还有OEM的版本,是专门为设备商而量身定做的,为设备商提供诸如气体3进1出,4进一出,或者1进3出,1进4出,zui多可以集成12路气体,以及流量控制器的入口和出口表面安装方式等气体混合解决方案,大大减少了管路的占用和气体分配系统的空间,具体的应用要求,请
同时瑞士Vogtlin质量流量控制器还有OEM的版本,是专门为设备商而量身定做的,为设备商提供诸如气体3进1出,4进一出,或者1进3出,1进4出,zui多可以集成12路气体,以及流量控制器的入口和出口表面安装方式等气体混合解决方案,大大减少了管路的占用和气体分配系统的空间,具体的应用要求,请与我们。