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氮气柜技术参数
内腔尺寸 W600mm×D600mm×H600mm
材质 外箱采用优质不锈钢,内箱采用SUS304不锈钢
温度范围 RT+10-300℃
温度分辨率 0.1℃
温度波动度 <±0.5℃
温度均匀度 ≤±1.5%
洁净度 class 100,设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境
电源及总功率 AC 380V±10% / 50HZ 总功率约15.0KW
升温速度 5-8℃/min
降温速度 降温5℃/min或自定义
氧含量
高温状态氧含量:≤ 20ppm +气源氧含量
低温状态氧含量:≤ 50ppm +气源氧含量
氮气柜概述
无氧化烤箱箱体内装有氧含量分析仪,全称检测氧含量,可设置超标报警功能。排气口采用自动风门设计以达到强烈的循环效果及快速降温,进气口加附N2流量计控制进气量。
翅片式水冷散热器,冷却水通过散热器快速带走更多的热量,使得箱内温度快速下降,缩短降温时间,提高生产效率。