纳米定位压电叠堆促动器 

特征

亚纳米定位分辨率

NPA 压电叠堆促动器的定位分辨率低至 0.05 nm，因此可以进行超精细调节，且分辨率仅受限于控制电子器件的噪声。

载重能力超高

NPA 压电叠堆促动器可以产生高达 1000 N 的力，因而特别适用于机床、主动隔振或自适应机制。

适合闭环工作的可选应变计

闭环版本具有高分辨率位置传感器，可实现高精度且可重复的运动，而且还会对促动器的移动进行补偿。装配基于完整的惠斯通电桥进行，并且对温度不敏感。闭环设备可用于开环或闭环控制。

真空兼容版本

NPA 压电叠堆促动器具有真空兼容版本，可在真空 (10-6 Torr) 环境中使用。

纳米定位压电叠堆促动器 配有高度可靠的多层低压压电换能器堆叠。它们通过机械弹簧在内部完成预加载，具有高谐振频率，这使其成为高载重动态应用的理想之选。
亚纳米定位分辨率
载重能力超高
可选应变计位置反馈
真空兼容版本

技术参数

• 行程范围

  0.1 mm  

• 轴向负载

  1000 N  

• 负载，拉

  150 N  

• 轴向刚度

  10 N/µm  

• 电容

  9.0 µF

• 共振频率

  3000 Hz

• 电缆长度

  1 m

• 开环分辨率

  0.2 nm  

• 亚纳米定位分辨率

  NPA 压电叠堆促动器的定位分辨率低至 0.05 nm，因此可以进行超精细调节，且分辨率仅受限于控制电子器件的噪声。

  载重能力超高

  NPA 压电叠堆促动器可以产生高达 1000 N 的力，因而特别适用于机床、主动隔振或自适应机制。

  适合闭环工作的可选应变计

  闭环版本具有高分辨率位置传感器，可实现高精度且可重复的运动，而且还会对促动器的移动进行补偿。装配基于完整的惠斯通电桥进行，并且对温度不敏感。闭环设备可用于开环或闭环控制。

  真空兼容版本

  NPA 压电叠堆促动器具有真空兼容版本，可在真空 (10-6 Torr) 环境中使用。