LX-3200-PDD氦离子化气相色谱仪采用由多个吹扫型十通或六通阀及多根色谱柱组成的多阀多柱的中心切割与反吹分离技术,通过色谱工作站设置的时间程序自动控制进样、切换、切割与反吹等过程,一台仪器就可以实现对高纯氮、高纯氩、高纯氧、高纯氦、高纯氢、高纯二氧化碳、氪气、氙气、氖气等空分高纯气体的分析;也可以针对三氟化氮、六氟化硫、六氟化钨、三氯化硼、氯化氢、磷硼砷硅锗烷等电子工业用气体制定特定的分析方案。
典型分析
空分(ASU)行业
- 高纯O2、N2、Ar中杂质(H2/O2/N2/Ar/CH4/CO/CO2)分析;
- 液O2、液Air及空分吸风口中危险物质(C2H2、N2O、THC、C1-C4)分析;
- 稀有气体He、Ne、Kr、Xe中杂质(N2/O2+Ar/H2/CO/CO2/CH4/Kr/Xe/N2O/C2F6/CF4/SF6)分析。
特种气、电子气行业
- 特气中杂质(H2/N2/O2+Ar/CO/CO2/CH4)分析;
- 腐蚀性气体:Cl2、HCl、HBr、NH3、SiH4 、SiHCl3、SiH2Cl2、AsH3、PH3、GeH4、BF3、BCl3、NF3、WF6、HF、F2等杂质分析;
- 卤化物:C3F8、C4F8、SF6、CF4、C2F6、CHI2CI3、CH2CHCl、SiCl4等杂质分析;
- CO2、NH3、H2等杂质分析。
氦离子化检测器(PDHID)
- 检测器是一个无破坏性(0.01~0.1%电离)和高灵敏的非放射性检测器。其检测限在皮克数量级范围,对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应。
He + e- ® He+ + 2e-
- ® He2*
- ® 2He + hv (12-21 eV)
- + A ® A+ + e-
脉冲放电氦离子化检测器(PDHID)优点:
- 基线及响应稳定、检测器寿命长
- 同一PDHID可运行不同的模式
- 高灵敏度
- 宽线性范围
- 不用放射性物质, 不用氢气
- 工作温度可达 400℃
- 对样品没破坏性
- 结构结实, 不用特殊维护
类别 | H2 | O2+Ar | N2 | CH4 | CO | CO2 | N2O |
检测限 | 5ppb | 10ppb | 10ppb | 5ppb | 25ppb | 5ppb | 10ppb |
类别 | C2H2 | C2H4 | C2H6 | C3H8 | C3H6 | C4H10 | C4H8 |
检测限 | 10ppb | 10ppb | 10ppb | 10ppb | 10ppb | 10ppb | 10ppb |