奥林巴斯半导体显微镜

能对应200mm晶圆和FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用），能够应对从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时亮度光圈连动能进行自动调节。这些功能实现了快速舒适的检查环境。
半导体/FPD检查显微镜 MX61

奥林巴斯半导体显微镜

OLYMPUS 奥林巴斯半导体显微镜MX51是一款高性价比的显微镜，适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察需求。
高灵敏度载物台可以迅速决定位置
内置离合器的载物台手柄
MX51主要操作部件集中在前面，操作人员易于操作，即使长时间操作也不会感到疲劳。150mm载物台内置离合器，可实现轻松移动。
快速切换物镜，提高检查速度

OLYMPUS 奥林巴斯半导体显微镜MX51

OLYMPUS 奥林巴斯半导体显微镜MX51是一款高性价比的显微镜，适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察需求。

奥林巴斯半导体显微镜

高灵敏度载物台可以迅速决定位置

内置离合器的载物台手柄

MX51主要操作部件集中在前面，操作人员易于操作，即使长时间操作也不会感到疲劳。150mm载物台内置离合器，可实现轻松移动。

快速切换物镜，提高检查速度

电动物镜转换器示意图

电动物镜转换器示意图 电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬时间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。

鲜明图像和不错的分辨率为特点的光学系

多种选择可实现成像性能

UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容，可按照用途选用。另外，波像差控制带来的高品质，忠实于样本的中性色彩显示等，UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它性能。

奥林巴斯半导体显微镜规格

光学系统

UIS2光学系统（无限远校正）

机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射/透射

照明装置

机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）

照明系统

反射照明

100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明

纤维光导

对焦单元

电动/手动

手动

行程

32 mm

分辨率/微调灵敏度

微调旋钮转动1周移动0.1 mm

z大样本高度

30 mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔

手动式

-

载物台

行程

8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm（透射照明范围189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm

观察筒

广角视场（视场数22）

倒置

双目/三目观察筒

正像

三目观察筒

超宽视场（视场数26.5）

倒置

三目观察筒

正像

倾斜三目观察筒

附件单元

DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸

509（W）×843（D）×507（H）mm（标准组合）

重量

40 kg（标准组合）