快速退火炉生技术参数：

1. 加热元件：8根碘钨(红外)灯管（D=10   L=300  T=200mm）
2. 输入功率：208-240AC，50/60Hz单相，9Kw
3. zui高工作温度：《1000℃
4. zui大升温速率：50℃/秒
5. zui大可放基片尺寸：3"

快速退火炉生炉体结构：双层莫来石钢构（不带水冷或风冷）

加热区：12" length with 4"X12”恒温区（ +/-5ºC ）

石英管和样品架：

·  石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

·  3" 的样品架固定在滑动法兰上，石英材料

·   一片3"  AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品。

·  AlN 具有很高的热导率，所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性+\- 5°C

快速退火炉生真空法兰：

·  带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作，两个高温“O”型圈密封

·  滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确。

水冷：如果要求通冷却水.

· 请确定冷却水流速 ≥ 3L/min, 水温 < 20ºC; 水压 > 25 PSI

· 我们建议采用 循环水制冷器作为冷却系统（为了节约用水）.

· 警告:  这款 RTP 炉在1000ºC ~ 1100ºC下保温时间不超过 600 秒，否则“ O”圈将被烧融

流量计：范围： 16 - 160 ml/min

真空表：

·  数字真空表，测量范围：10mtorr~800 torr .

·  可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

真空度：

·  用机械泵真空度达 100 pa

·  用分子泵真空度可达 10^-4 pa.

温控仪：

·  PID 自动控制，30段程序带过热和断偶保护功能

·  热偶: 进口K type

·  自整定功能

·  控温精度: +/- 1°C

·   RS485 串口和温控软件

快速退火炉生zui快升温速度：

室温~800℃： 50 ^oC/sec ，800℃~1000℃： 10^oC/sec

保修期：电器部分一年质保期 (耗材：如炉管，“O”型圈和加热灯管等不在保修范围内）