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高真空CVD化学气相沉积管式炉系统产品介绍:
该款CVD系统, 可以分为低温、中温、高温三种加热形式,加热元件可分为电阻丝(1200℃以下使用)、硅碳棒(1400℃以下使用)、硅钼棒(1700℃以下使用)等;
CVD管式炉由供气系统、加热系统、真空系统等组成;
1)加热系统可以分单温区、双温区、三温区、多温区等;
2)真空系统可分为低真空和高真空,高极限真空可以达到10-4Pa(分子泵组);
3)供气系统是流量调节用户可选质量流量计或浮子流量计,混气路数用户可选2路、3路、4路、5路、6路等相混合(主要根据客户工艺要求定制);
炉底(可选)配安装一对滑轨,可用手滑动(主要适用于1200℃以下加装滑轨)。可以达到快速升降温的目的,为取得快加热速率,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品区。可在样品加热后移动炉子到另一端,实现快速降温功能。
主要用途:
应用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
高真空CVD化学气相沉积管式炉系统主要功能和特点:
1、 1200℃炉盖可打开,可以随时观察加热的物料,并能迅速降温,满足材料急冷急热的实验需要;
2、 炉膛采用*真空吸附成型的高纯氧化铝多晶纤维制成,保温效果好,耐用节能,反射率高、温场均衡,等特点;
3、1)、加热元件采用高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2,高发热温度可达1200℃;
2)、加热元件采用优质硅碳棒,高发热温度可达1400℃;
3)、加热元件采用高温硅钼棒,高发热温度可达1700℃;
4、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制;每条气体管路均配备高压逆止阀,保证系统的安全性和连续均匀性。
5、炉管采用高纯石英管高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小,能承受急冷急热的温度。
6、采用KF快速法兰密封,仅需要一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人为操作导致漏气的可能;减少了因安装法兰而造成加热管损坏的可能。
7、预留了真空、气路快速接口,可配合我司真空系统、混气系统使用;
8、我司可预留485转换接口,可通过我部的软件,与计算机互联,可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能;可安装无纸记录装置,实现数据的存储、输出;
9、加热采用上盖开启式,超温和断偶保护警报并断电,漏电保护,操作安全可靠。
技术参数:
型号 | AS-1200C | AS-1400C | AS-1700C |
高温度 | 1200℃ | 1400℃ | 1700℃ |
工作温度 | ≤1100℃ | ≤1300℃ | ≤1600℃ |
加热元件 | 合金加热丝 | 优质硅碳棒 | 优质硅钼棒 |
温控方式 | 智能化30段PID微电脑可编程控制 | ||
温控保护 | 具有超温及断偶报警功能 | ||
热 电 偶 | K型/S型/B型 | ||
炉膛材质 | 高纯氧化铝多晶纤维 | ||
加热速率 | 0-20℃/分 | ||
恒温精度 | ±1℃ | ||
均 匀 性 | ±5℃ | ||
炉壳结构 | 双层壳体带风冷系统 | ||
供电电源 | 110-480V 50/60Hz | ||
气路控制 | 浮子流量计/质量流量计 | ||
真空系统 | 旋片泵/扩散泵/分子泵 | ||
可 选 配 | 水冷机/数显真空计 | ||
售后服务 | 12个月质保、终身保修(易损件除外) | ||
更多规格可根据用户需要定制。 |