高真空CVD化学气相沉积管式炉系统

安晟高真空CVD化学气相沉积管式炉系统

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具体成交价以合同协议为准
2022-05-29 10:10:03
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河南马弗炉技术开发有限公司

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产品简介

高真空CVD化学气相沉积管式炉系统是一种实验室热处理仪器,目前主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。由于实验电炉种类丰富功能不同,选择合适的电炉进行试验是很重要的一环,而无论选择哪种试验掌握实验方法非常重要。

详细介绍

高真空CVD化学气相沉积管式炉系统产品介绍:

该款CVD系统, 可以分为低温、中温、高温三种加热形式,加热元件可分为电阻丝(1200℃以下使用)、硅碳棒(1400℃以下使用)、硅钼棒(1700℃以下使用)等;

CVD管式炉由供气系统、加热系统、真空系统等组成;

1)加热系统可以分单温区、双温区、三温区、多温区等;

2)真空系统可分为低真空和高真空,高极限真空可以达到10-4Pa(分子泵组);

3)供气系统是流量调节用户可选质量流量计或浮子流量计,混气路数用户可选2路、3路、4路、5路、6路等相混合(主要根据客户工艺要求定制);

炉底(可选)配安装一对滑轨,可用手滑动(主要适用于1200℃以下加装滑轨)。可以达到快速升降温的目的,为取得快加热速率,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品区。可在样品加热后移动炉子到另一端,实现快速降温功能。

主要用途:

应用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品

高真空CVD化学气相沉积管式炉系统主要功能和特点:

1、 1200℃炉盖可打开,可以随时观察加热的物料,并能迅速降温,满足材料热的实验需要;

2、 炉膛采用*真空吸附成型的高纯氧化铝多晶纤维制成,保温效果好,耐用节能,反射率高、温场均衡,等特点;

3、1)、加热元件采用高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2,高发热温度可达1200℃;

     2)、加热元件采用优质硅碳棒,高发热温度可达1400℃;

     3)、加热元件采用高温硅钼棒,高发热温度可达1700℃;

4、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制;每条气体管路均配备高压逆止阀,保证系统的安全性和连续均匀性。

5、炉管采用高纯石英管高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小,能承受热的温度

6、采用KF快速法兰密封,仅需要一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人为操作导致漏气的可能;减少了因安装法兰而造成加热管损坏的可能

7、预留了真空、气路快速接口,可配合我司真空系统、混气系统使用;

8、我司可预留485转换接口,可通过我部的软件,与计算机互联,可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能;可安装无纸记录装置,实现数据的存储、输出;

9加热采用上盖开启,超温和断偶保护警报并断电,漏电保护,操作安全可靠。

 

技术参数:

型号

AS-1200C

AS-1400C

AS-1700C

高温度

1200℃

1400℃

1700℃

工作温度

≤1100℃

≤1300℃

≤1600℃

加热元件

合金加热丝

优质硅碳棒

优质硅钼棒

温控方式

智能化30段PID微电脑可编程控制

温控保护

具有超温及断偶报警功能

热 电 偶

K型/S型/B型

炉膛材质

高纯氧化铝多晶纤维

加热速率

0-20℃/分

恒温精度

±1℃

均 匀 性

±5℃

炉壳结构

双层壳体带风冷系统

供电电源

110-480V  50/60Hz

气路控制

浮子流量计/质量流量计

真空系统

旋片泵/扩散泵/分子泵

可 选 配

水冷机/数显真空计

售后服务

12个月质保、终身保修(易损件除外)

  更多规格可根据用户需要定制。

 

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