紫外光学元件

紫外准分子激光光学

适用于193nm，248nm，308nm应用的光学器件

当在如此短的波长下工作时，必须非常小心，以防止在光学元件或其涂层中出现小的缺陷。此外，涂层非常薄，需要高度的精度和控制沉积。许多普通的光学玻璃在这些波长上停止传输，因此使用紫外级熔融石英，氟化钙或氟化镁等材料作为透射光学元件材料是*的。氟化物材料是柔软和吸湿的，这就需要对材料成形和抛光特性进行特殊处理和知识。

•腔光学：后视镜和输出耦合器

•聚焦透镜（球形和圆柱形）：FL特别设计在250nm

•弯曲镜子（45度）和光束传输光学器件

•偏振光学元件：波片，偏振片，接触式偏振立方体

光束色散棱镜

产品规格

•具有CaF2和MgF2材料的光学元件

•表面质量：20/10或更好

•表面图：λ/ 10 @ 633nm

•薄膜涂层设计用于高激光损伤阈值（抗反射和高反射涂层> 10J，1.2J / cm2）