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长焦深DOE是激光成丝切割技术的核心,其原理利用特殊设计的表面微结构对入射激光进行衍射,在焦距附近产生一个沿着传播轴方向的能量近乎均匀分布、延伸长度几百微米到几毫米的拉长焦点。这种长焦深光斑的长度是普通聚焦光斑的几十倍*百倍,而宽度基本保持不变。
高质量玻璃切割,成丝切割,焦深范围0.几~几毫米
Holoor公司的长焦深DOE是一种新型解决方案,英文名为Beam Focus Elongated Focus,可实现更长的聚焦深度以及更高的横向分辨率(更小的光斑尺寸)。长的焦距深度要求小数值孔径,小的光斑尺寸要求大数值孔径,这两者本来是相互冲突的,但长焦深DOE却能够使激光同时具备这两个特性,因此其十分适合一些行业应用。例如激光钻孔,透明材料的切割(玻璃,蓝宝石等),激光过程监控/监测、显微镜、激光度量学等等。
常规的光学元件(如球面透镜,反射镜等),并不能同时满足这两个特性。而Holoor的长焦深DOE能够产生类似于“长的圆柱体”的长焦深焦点,焦点具有锐利的边缘和更长的焦深,同时保持激光光斑尺寸非常小。
长焦深DOE作用
长焦深DOE的作用是使入射激光在焦距附近产生一个能量近乎均匀分布、焦深的长度达几十微米到几毫米的焦点。相比于普通的激光焦点(能量非常集中,长度和宽度都有限),通过长焦深DOE元件可把激光焦点拉长为原来的几十倍*百倍,同时宽度基本保持不变。能量均匀的长焦深光斑特别适合对材料进行深度切割。
z-x平面上的强度分布
这种长焦深透镜和多焦点元件互为补充,在激光材料加工等领域有重要应用。如果用1064nm的长焦深DOE切割厚度2mm、折射率1.5的玻璃,可以选用EF-004-I-Y-A配合25mm的聚焦镜。这种情况下,EF-004-I-Y-A的焦深长度正好约为2mm,满足切割要求,并且具有很好的切割效果,表面平整度高、切割速度快。近1030nm的长焦深切割应用也越来越多,例如EF-003-J-Y-A,EF-010/015/016/026-J-Y-A
新解决方案完善了现有的多焦点产品系列。与Multifocal产品相比,扩展焦点的好处在于它沿着DOF产生连续的强度分布,并且不会受到相邻焦点之间的低能量区域的影响。
Holo/Or长焦深DOE部分产品规格
PN | λ [nm] | Depth Of Focus [um] | Beam Dia [mm] | Remarks |
EF-001-I-Y-A | 1064 | 483 | 13 |
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EF-002-I-Y-A | 1064 | 270 | 4 | Double EF |
EF-003-I-N-A | 1064 | 444 | 12 |
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EF-003-I-Y-A | 1064 | 444 | 12 |
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EF-006-I-Y-A | 1064 | 93 | 7 | Double EF |
EF-007-I-Y-A | 1064 | 53 | 9 | Double EF |
EF-008-I-Y-A | 1064 | 120 | 6 | Double EF |
EF-009-I-Y-A | 1064 | 68 | 8 | Double EF |
EF-010-I-Y-A | 1064 | 43 | 10 | Double EF |
EF-011-I-Y-A | 1064 | 949 | 2 | Double EF |
EF-014-I-Y-A | 1064 | 454 | 3 | Double EF |
EF-015-I-Y-A | 1064 | 11311-485 ** | 1-15 |
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EF-016-I-Y-A | 1064 | 25982-1068 ** | 1-15 |
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EF-017-I-Y-A | 1064 | 18877-786 ** | 1-15 |
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EF-019-I-Y-A | 1064 | 376-79 ** | 4-15 |
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EF-020-I-Y-A | 1064 | 9680-3188 ** | 1-15 |
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EF-021-I-Y-A | 1064 | 9590-1520 ** | 1-15 |
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EF-022-I-Y-A | 1064 | 8798-1167 ** | 1-15 |
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EF-023-I-Y-A | 1064 | 602-233 ** | 3-7 |
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EF-024-I-Y-A | 1064 | 1405-148 ** | 2-15 |
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EF-025-I-Y-A | 1064 | 1803-465 ** | 2-7 |
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EF-026-I-Y-A | 1064 | 859-332 ** | 3-7 |
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EF-027-I-Y-A | 1064 | 2573-663 ** | 2-7 |
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EF-028-I-Y-A | 1064 | 1405-148 ** | 2-15 |
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一般规格
物料 | 熔融石英,ZnSe,锗 |
波长范围 | 193nm至10.6um |
DOE设计 | 2级(二进制)到16级 |
衍射效率 | 86% - 96% |
元素大小 | 几毫米到150毫米 |
涂层(可选) | AR / AR涂层 |
定制设计 | 几乎任何尺寸 |
功能和应用
特征:
●效率> 95%
●High efficiency > 95%
●焦点深度 - 可定制
●Depth of Focus – customable
●沿焦点“圆柱”的光斑尺寸 - 接近衍射极限
●Spot size along focal “cylinder” – close to diffraction limit
●高损伤阈值(熔融石英)
●High damage threshold (Fused Silica)
●可选的Ar / Ar涂层
●Optional Ar/Ar coating
●适用于不同波长
●Available for different wavelength
应用:
●切割
●Cutting
●钻孔
●Drilling
●显微镜
●Microscopy
配件
DOE调谐器模块
为了满足使用DOE时对各种输出参数的微调能力的需求,例如:形状/斑点尺寸,分离/发散角等,HOLO / OR设计了可变光束调谐器,已针对Top-Hat使用进行了优化光束整形器,均质器,MultiSpot和其他DOE产品。另一个应用是在Top-Hat应用中对DOE之前的入射光束大小进行微调,其中精度[…]
安装适配器
为了方便客户,HOLO / OR提供了多种DOE和其他光学组件的安装适配器。DOE可以与适配器分开订购,也可以已经安装在适配器上。我们提供适合圆形或方形光学元件的圆形适配器。HOLO / OR还可以根据您的需要提供定制适配器。方形光学元件到圆形适配器:[…]