型号

VLF-1                VLF-2               VLF-3              VLF-4

zui大熔炼重量（按钛液计算）

0.3KG                0.5KG                1KG                 2KG

            zui高加热温度

1900                  1900                1900                 1900

悬浮电源

zui大输入功率

60KW                80KW                120KW              160KW

zui大输出功率

54KW                72KW               108KW                144KW

采用电源

IGBT悬浮电源

振荡频率

15-30KHZ（频率自动跟踪）

冷却水要求

电压≥0.2MPa              坩埚 ≥0.35MPa 

感应线圈

悬浮炉线圈

输入电压

三相380V   50 HZ

融化速率

10~15min

坩埚

悬浮水冷铜坩埚

         控温模式

智能PID

      腔体真空度

< 5X10 ^-3Pa

       断偶保护和显示

有

          过温保护

有

           过流保护

有

      欠压保护（水压）

有

        控制精度

+/-  1~ 5 ℃（600度以上）

       温度检测方式

  B型热电偶或红外测温仪

       zui大升温速率

 100度/Min

      坩埚可倾倒旋转角度

0-90度

         真空腔体内是否可接水冷坩埚

 可以

           观察窗尺寸

  Dia 90mm

           冷水机（选配）

真空机组

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

真空挡板阀

KF40

               分子泵

               （方案一）

 分子泵型号

  FJ620

  输入电压

 220V

  分子泵进气口法兰

  DN160

分子泵抽气速率L/S（对空气）

  600

分子泵极限压强（Pa)

6×10^-7

冷却方式

 水冷

冷却水压（MPa）

 0.1-0.2

冷却水温度

<25℃

环境温度

0~40℃

建议启东压强

<100Pa

      前机真空泵RVP-6

功率

0.75KW

电压

220V

转速

1450rpm

进气口径

 KF25/KF40

前机泵抽气速率（L/S）

6

极限压强

4X10 ^-2Pa

    扩散泵TK150

   （方案二）

电压

220V

功率

1000W

极限真空度（在无泄露时）

<1E-5 Pa

进气接口

DN150

出气接口

DN40

注入油量

0.3L

抽气速率（N2）

1000L/S

复合真空计

复合真空计型号

ZDF

 电源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空计测量范围

10^-5 -10 ⁵ Pa